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硅碳負(fù)極流化床氣相沉積爐
硅碳負(fù)極流化床氣相沉積爐

參考價(jià)格

面議

型號(hào)

LHC-20

品牌

力信達(dá)

產(chǎn)地

江西贛州

樣本

暫無
江西力信達(dá)高新裝備有限公司

金牌會(huì)員

|

第2年

|

生產(chǎn)商

工商已核實(shí)

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電話詢價(jià)
核心參數(shù)
  • 非金屬電熱元件:

    其他
  • 金屬電熱元件:

    鐵鉻鋁絲
  • 燒結(jié)氣氛:

    其他
  • 溫控精度:

    ±5
  • 最高溫度:

    1050
  • 額定溫度:

    800
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一、設(shè)備簡(jiǎn)介

碳基前驅(qū)體添加到流化床沉積爐內(nèi),,通入高溫氣體,,硅烷高溫裂解,沉積在多孔碳的表面,,得到包覆改性物料,,相比傳統(tǒng)CVD爐氣固相接觸充分,包覆硅時(shí)包覆層比傳統(tǒng)工藝更均勻,,反應(yīng)區(qū)的溫度控制均勻,,溫度精度一致性更好。

二,、技術(shù)參數(shù)

1. 載氣:N2,、H2、Ar

2. 反應(yīng)氣體:CH4,、C2H2,、C3H6、SiH4

3. 每批處理量: 10kg≤Q≤150kg

4. 操作溫度: ≤800℃

5. 操作壓力: ≤10Kpa

6. 卸料溫度: ≤200

7. 氧指數(shù): ≤50ppm





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暫無相關(guān)方案,。
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用戶評(píng)論

產(chǎn)品質(zhì)量

10分

售后服務(wù)

10分

易用性

10分

性價(jià)比

10分
評(píng)論內(nèi)容
暫無評(píng)論,!
公司動(dòng)態(tài)
暫無數(shù)據(jù),!
技術(shù)文章
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