非金屬電熱元件:
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硅負(fù)極(納米硅、氧化亞硅,、多孔硅)CVD氣相沉積碳包覆回轉(zhuǎn)爐
適用物料:納米硅,、硅氧(氧化亞硅)、多孔硅
使用工況:CVD氣相沉積碳包覆(一次包覆,、二次包覆)
均勻包覆碳含量:1.6%-22%(可控可調(diào))
適用氣體:氮氣,、氬氣、甲烷,、乙炔,、氨氣(丙酮、苯,、乙醇,、瀝青等)
公司備有多臺公斤級、百公斤級硅負(fù)極用cvd爐系統(tǒng)免費供客戶實驗用,,公司目前已完成300+批次的硅負(fù)極cvd實驗,,通過客戶反饋實驗數(shù)據(jù)不斷優(yōu)化cvd爐的設(shè)計。通過大量實驗積累了豐富的cvd經(jīng)驗,。
暫無數(shù)據(jù),!