參考價(jià)格
面議型號(hào)
BTF-1200C-III-R-CVD-150品牌
貝意克產(chǎn)地
安徽合肥樣本
暫無(wú)金屬電熱元件：
鐵鉻鋁絲燒結(jié)氣氛：
其他溫控精度：
±1℃最高溫度：
1200℃額定溫度：
≤1100℃非金屬電熱元件：
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產(chǎn)品特色
1、三段電阻絲加熱爐,，加熱溫區(qū)300+300+300,，上下6點(diǎn)獨(dú)立控溫，溫場(chǎng)均勻性好,；
2,、設(shè)備兩端配有磁流體密封法蘭，確保爐管能在真空條件下進(jìn)行轉(zhuǎn)動(dòng),；
3,、設(shè)備配有螺旋上料機(jī)構(gòu)，上料電機(jī)轉(zhuǎn)速可調(diào),，可自由調(diào)節(jié)上料速度,；
4,、智能一體化工控屏顯示控制，操作界面簡(jiǎn)潔,，方便使用,。
設(shè)備組成
本臺(tái)定制回轉(zhuǎn)CVD設(shè)備，可實(shí)現(xiàn)一次加3L粉料進(jìn)行生產(chǎn),；從結(jié)構(gòu)上共分成主體設(shè)備,、上料機(jī)構(gòu)、收料機(jī)構(gòu)三大模塊,。
一,、主體CVD設(shè)備
主體CVD設(shè)備主要包含加熱系統(tǒng)、氣路系統(tǒng),、真空系統(tǒng),、爐管回轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)。
1,、加熱系統(tǒng)：三溫區(qū)加熱爐膛,，溫區(qū)長(zhǎng)度300+300+300mm，總加熱功率12KW,?？販?zé)犭娕紴镵型熱電偶，每段溫區(qū)爐膛上下各1個(gè)控溫點(diǎn)獨(dú)立控溫,，提高爐膛溫場(chǎng)均勻性,。
2、氣路系統(tǒng)：6路工作氣體,，分別由5個(gè)D07-19B 500sccm N2和1個(gè)CS200A 500sccm N2質(zhì)量流量計(jì)控制進(jìn)入混氣罐,，另外配置1路吹掃氣路，由1個(gè)D07-19B 5slm N2質(zhì)量流量計(jì)并聯(lián)接入混氣罐之前,，可以對(duì)整個(gè)氣路系統(tǒng)進(jìn)行吹掃,。
3、真空系統(tǒng)：采用BSV30真空泵,，并配置PCG550真空計(jì)檢測(cè)腔體真空度,。
4、爐管回轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)：采用伺服電機(jī),，并配置1:30減速機(jī),，保證爐管回轉(zhuǎn)平穩(wěn)。
二,、上料機(jī)構(gòu)
上料機(jī)構(gòu)由螺桿送料器,、升降機(jī)構(gòu)、滑動(dòng)滑軌組成,，送料前通過(guò)搖動(dòng)渦輪升降器手柄可以調(diào)節(jié)螺桿送料器的送料螺桿的中心高度,，與設(shè)備法蘭中心高度一致后,，鎖緊升降器上方導(dǎo)柱的鎖緊手柄；可左右移動(dòng)送料螺桿至合適位置進(jìn)行送料,。
三,、收料機(jī)構(gòu)
用真空泵將收料桶抽成真空狀態(tài)，將收料桿深入設(shè)備內(nèi)部物料處,，打開(kāi)收料桿上的球閥,，利用真空負(fù)壓產(chǎn)生的吸力將物料吸入收料桶內(nèi)。
技術(shù)參數(shù)
額定功率 | 15KW（加熱12KW+真空泵1.5KW+電機(jī)1.5KW） |
額定電壓 | AC380V 50/60Hz |
**溫度 | 1200℃（＜1h） |
持續(xù)工作溫度 | ≤1100℃ |
推薦升溫速率 | ≤10℃/min |
爐管尺寸 | 異型石英管 |
加熱區(qū)長(zhǎng)度 | 300+300+300mm |
恒溫區(qū) | 600mm |
控溫方式 | 10寸觸控屏控制,，模糊PID控制和自整定調(diào)節(jié),，智能化30段可編程控制，具有超溫和斷偶報(bào)警功能 |
控溫精度 | ±1℃ |
加熱元件 | 電阻絲 |
爐體尺寸 | 主體設(shè)備：2600*960*1500mm 上料機(jī)構(gòu)：1600*600*1500mm |
設(shè)備凈重 | 600Kg |
暫無(wú)數(shù)據(jù),！
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