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產品特色

1,、三段電阻絲加熱爐,，加熱溫區(qū)300+300+300，上下6點獨立控溫,，溫場均勻性好,；

2、設備兩端配有磁流體密封法蘭,，確保爐管能在真空條件下進行轉動,；

3、設備配有螺旋上料機構,，上料電機轉速可調,，可自由調節(jié)上料速度；

4,、智能一體化工控屏顯示控制,，操作界面簡潔，方便使用,。

設備組成

本臺定制回轉CVD設備,，可實現(xiàn)一次加3L粉料進行生產；從結構上共分成主體設備,、上料機構,、收料機構三大模塊。

一,、主體CVD設備

主體CVD設備主要包含加熱系統(tǒng),、氣路系統(tǒng)、真空系統(tǒng),、爐管回轉機構,。

1、加熱系統(tǒng)：三溫區(qū)加熱爐膛,，溫區(qū)長度300+300+300mm,，總加熱功率12KW?？販責犭娕紴镵型熱電偶,，每段溫區(qū)爐膛上下各1個控溫點獨立控溫，提高爐膛溫場均勻性,。

2,、氣路系統(tǒng)：6路工作氣體,，分別由5個D07-19B 500sccm N2和1個CS200A 500sccm N2質量流量計控制進入混氣罐，另外配置1路吹掃氣路,，由1個D07-19B 5slm N2質量流量計并聯(lián)接入混氣罐之前,，可以對整個氣路系統(tǒng)進行吹掃。

3,、真空系統(tǒng)：采用BSV30真空泵,，并配置PCG550真空計檢測腔體真空度。

4,、爐管回轉機構：采用伺服電機,，并配置1:30減速機，保證爐管回轉平穩(wěn),。

二,、上料機構

上料機構由螺桿送料器、升降機構,、滑動滑軌組成,，送料前通過搖動渦輪升降器手柄可以調節(jié)螺桿送料器的送料螺桿的中心高度，與設備法蘭中心高度一致后,，鎖緊升降器上方導柱的鎖緊手柄,；可左右移動送料螺桿至合適位置進行送料。

三,、收料機構

用真空泵將收料桶抽成真空狀態(tài),，將收料桿深入設備內部物料處，打開收料桿上的球閥,，利用真空負壓產生的吸力將物料吸入收料桶內,。

技術參數(shù)