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亞皮秒紫外波長(zhǎng)短,，脈寬窄,，材料吸收紫外光比吸收紅外光更容易，紫外光子直接打斷PVD鍍膜材料表面的分子鍵,，這種方式不會(huì)產(chǎn)生高的熱量,，俗稱“冷加工”，主要采用紫外激光(波長(zhǎng)355nm),，加工出來(lái)的部件具有光滑的邊緣和不傷玻璃基材等優(yōu)點(diǎn),。紫外亞皮秒PVD清除機(jī)非常成熟，直接利用激光器出光后通過(guò)擴(kuò)束調(diào)整后連接到振鏡的光學(xué)系統(tǒng),，通過(guò)激光光束照射到工件表面,，氣化掉表面PVD鍍膜。

光清洗系統(tǒng)針對(duì)PVD工具清洗,，可以有效清除多層涂層,，不會(huì)產(chǎn)生機(jī)械損傷，對(duì)焊縫或密封表面無(wú)損傷,，減少加熱循環(huán)時(shí)間,，綠色環(huán)保無(wú)需介質(zhì),、化學(xué)試劑，不產(chǎn)生次級(jí)污染物,，無(wú)需清理,，一般反應(yīng)室清洗在短短幾個(gè)小時(shí)內(nèi)即可完成。

激光清洗技術(shù)甚至可以清除*難清洗的氣相沉淀層,，包括類似金剛石碳涂層和其他耐磨涂層,。捆綁式激光的威力能夠?qū)⑦@些“防彈涂層”蒸發(fā)汽化。*終,，精密金屬基材能夠被安全且無(wú)損地清除干凈,，且不產(chǎn)生殘?jiān)５入x子體室內(nèi)可以手動(dòng)或半自動(dòng)地進(jìn)行有效的激光去涂層同時(shí)清理干凈,。

PVD物理氣相沉積指利用物理過(guò)程實(shí)現(xiàn)物質(zhì)轉(zhuǎn)移,，將原子或分子由源轉(zhuǎn)移到基材表面上的過(guò)程。它的作用是可以使某些有特殊性能（強(qiáng)度高,、耐磨性,、散熱性、耐腐性等）的微粒噴涂在性能較低的母體上,，使得母體具有更好的性能,。 然而在這個(gè)過(guò)程中，噴的漆層不僅粘附到目標(biāo)表面,，還要與周?chē)ㄓ糜谠诜磻?yīng)室內(nèi)把持零件的工具和夾具的表面整合起來(lái),。激光清洗系統(tǒng)可以高效的清潔PVD工具表面，避免過(guò)量的PVD噴涂材料會(huì)帶來(lái)不良影響,，如降低工件公差,，反應(yīng)室密封性差，導(dǎo)致濕度上升,、加熱時(shí)間延長(zhǎng),。