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HMPS-2080SP微波等離子體CVD設備品牌
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◆微波反應腔新型設計,，功率密度大。
◆產(chǎn)品沉積速率快、沉積質(zhì)量高,。
◆開關(guān)型微波電源,，微波輸出穩(wěn)定性高。
◆適合光學,、電子,、工具級金剛石膜或單晶、石墨烯等的沉積,，材質(zhì)表面處理,、低溫氧化物的生長等。
◆性能先進,，安全,、可靠性強、重現(xiàn)性好,，操作簡便,。
◆多參數(shù)實時監(jiān)測、采集與記錄,，PLC屏幕控制,，多重聯(lián)鎖保護。
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