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HMPS-2080SP微波等離子體CVD設(shè)備品牌
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◆微波反應(yīng)腔新型設(shè)計，功率密度大,。
◆產(chǎn)品沉積速率快,、沉積質(zhì)量高。
◆開關(guān)型微波電源,，微波輸出穩(wěn)定性高,。
◆適合光學(xué)、電子,、工具級金剛石膜或單晶,、石墨烯等的沉積，材質(zhì)表面處理,、低溫氧化物的生長等,。
◆性能先進，安全,、可靠性強,、重現(xiàn)性好，操作簡便,。
◆多參數(shù)實時監(jiān)測,、采集與記錄，PLC屏幕控制,，多重聯(lián)鎖保護,。
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