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微波功率容量大,、功率密度高,；

◆沉積面積大、速率快,、質(zhì)量高,；

◆安全可靠，滿足單晶,、多晶金剛石產(chǎn)業(yè)化生產(chǎn)運(yùn)行,；

◆第三代高穩(wěn)定固態(tài)功率源，新型下饋式大容積碟形放電工作腔,；

◆微波功率0.5~12kW連續(xù)可調(diào),，穩(wěn)定度1%,；

◆放電區(qū)Φ≥100mm；均勻沉積區(qū)Φ≥75mm,；

◆工作氣體：H2/CH4/N2/CO2或O2或Ar,；

◆極限真空度：6×10-4Pa；真空漏率：10-9Pa·m3/s,；

◆工作壓力：0.1~30kPa,；自動控制；

◆紅外測溫：600~1800℃（雙色）,；

◆PLC和15寸觸摸屏多參數(shù)自動控制,。