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三溫區(qū)真空氣氛回轉爐CVD系統(tǒng)CVD1200C 900D60III R 3ZLV品牌
康帕因產(chǎn)地
安徽樣本
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設備特點：
CVD1200C 900D60IIIR 3ZLV 是集三溫區(qū)真空回轉爐、三路質量流量計系統(tǒng)及低真空機組而成一種動態(tài)狀態(tài)下的化學氣相沉積系統(tǒng),。三溫區(qū)開啟式真空回轉管式爐采用雙層風冷結構,，爐體表面溫度≤60℃，爐膛采用高純度氧化鋁微晶纖維高溫真空吸附成型,。,。進口加熱電阻絲鑲嵌延長爐體使用壽命，該設備容許粉末樣品在高溫狀態(tài)下動態(tài)燒結處理,，配備磁流體密封裝置,，使得整個設備處于真空狀態(tài)下工作。特殊樣品倉結構設計,，避免傳統(tǒng)回轉爐取樣等繁瑣操作,，該回轉加熱爐與氣路控制系統(tǒng)及真空構成真空回轉CVD系統(tǒng)，滿足樣品在真空或者氣氛條等多種實驗條件下燒結,，工藝擴展型好,，重復性好。是專為高等院校﹑科研院所的實驗室及工礦企業(yè)在高溫真空添加下處理粉末材料的理想設備.
技術參數(shù)：
名稱 | 規(guī)格 | 開啟式三溫區(qū)真空回轉管式爐CVD系統(tǒng) CVD1200C 900D60IIIR3ZLV |
三溫區(qū)真空回轉爐 | 爐管尺寸 | Φ60×1400mm 更多其他規(guī)格石英管可選（Φ50/60/80/100mm等） 配備特殊設計石英樣品倉,，可將樣品倉整管取出,，取放樣方便 |
主要參數(shù) | **溫度: 1200℃(使用時必須通入惰性氣體以防止爐管發(fā)生形變) 工作溫度: 1100℃ 推薦升溫速率:≤10℃/min 加熱區(qū)長度: 300+300+300mm 額定功率：7KW 旋轉速度：0-13轉/min 電壓：單相AC 208 - 240V, 50Hz | |
爐體結構 | 雙層空氣冷卻鋼殼保持爐表面溫度低于60°C 高純狀氧化鋁纖維絕緣層，**限度節(jié)約能源 爐膛和加熱元件上的特殊耐火涂層可延長爐子的使用壽命 | |
溫控系統(tǒng) | 模糊PID控制和自整定調節(jié)功能 智能化30段可編程控制 具有超溫及斷偶報警功能 控溫精度: ±1 ℃ K型熱電偶 可安裝PC控制軟件對數(shù)據(jù)進行實時采集（需另購） | |
溫控儀表（可選） | 標配儀表品牌為宇電,，可指定其他品牌溫控儀表,，如島電等。 | |
管堵 | 多種規(guī)格管堵,，防止來自內部管子的熱輻射,，管堵在加熱前必須完全放入爐腔。石英管堵滿足潔凈實驗環(huán)境或者較高真空需求 | |
密封系統(tǒng) | 爐管兩端配有不銹鋼密封法蘭,。（包括精密針閥,、指針式真空壓力表、軟管接頭） 如需獲得較高的真空度,，建議采用不銹鋼波紋管連接及數(shù)顯真空計（需另外訂購） 出氣端配備磁流體密封裝置,，容許設備在連續(xù)真空條件下工作。 備注：本公司標配法規(guī)格如下進氣端Φ6卡套接口,，可連接Φ6不銹管或者聚四氟管,。 出氣端預留KF25接口，方便連接真空泵,，KF16接口,，方便連接數(shù)顯真空計，以及Φ9氣嘴接頭,，以便出氣 | |
擴展端口 | 如進氣管道為橡膠軟管,，則需將進氣口更換成Φ9氣嘴接頭 | |
真空度 | 雙極旋片機械泵：10^-1Pa 分子泵機組：10^-3 Pa 可選配本公司配套高低真空 | |
外形尺寸 | 650mm(L) ×450mm(W) × 550mm(H) | |
凈重 | 40Kg | |
三路質量流量控制系統(tǒng) MFC-3Z | 電壓 | 220VAC 單相 50/60Hz |
針閥材質 | 316不銹鋼 | |
量程 | 50sccm、100sccm,、200sccm（可根據(jù)工藝要求提供多種量程選擇） | |
工作溫度 | 5～45℃ | |
外型尺寸 | 600(L) x 600(W) x 750(H) mm | |
電壓 | AC220V/50Hz單相 | |
功率 | 23W | |
真空系統(tǒng) LVU-10 | 殼體尺寸 | 600 (L) x 600 (W) x 750(H)mm |
**承載量 | 1000 Lbs | |
抽氣速率 | 10m3/h 極限真空度：10-1Pa 雙層立式油污過濾器(PE材質）與真空泵連接 | |
質保期 | 一年保修,，終身技術支持。 特別提示：1.耗材部分如加熱元件,，石英管,，樣品坩堝等不包含在內。 2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內,。 | |
相關應用 | 爐膛內襯可以單獨更換（額外付費） 可以根據(jù)要求設計成帶有滑動法蘭的爐子 | |
應用注意事項 | 爐管內氣壓不可高于0.02MPa 由于氣瓶內部氣壓較高,，所以向爐管內通入氣體時，氣瓶上必須安裝減壓閥,，建議在本公司選購減壓閥,，本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加精確安全 當爐體溫度高于1000℃時，爐管內不可處于真空狀態(tài),，爐管內的氣壓需和大氣壓相當,，保持在常壓狀態(tài) 進入爐管的氣體流量需小于200SCCM，以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊 石英管的長時間使用溫度＜1100℃ 對于樣品加熱的實驗,，不建議關閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用,。若需要關閉氣閥對樣品加熱，則需時刻關注壓力表的示數(shù),，若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa,，必須立刻打開泄氣閥，以防意外發(fā)生（如爐 管破裂,，法蘭飛出等） | |
暫無數(shù)據(jù),！
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移動端
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