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儀器簡介：電子束入射到樣品上,，即可用光學(xué)方法接收并分析陰極發(fā)光（CL）,，從而提供樣品詳細(xì)的物理特性。它是一種無損的分析方法,，結(jié)合電鏡可提供與形貌相關(guān)的高空間分辨率光譜結(jié)果,，是納米結(jié)構(gòu)和體材料的獨特分析工具。
Flex-CLUE是一款高性能的CL分析儀器,，適用于廣泛的應(yīng)用領(lǐng)域,。它基于光纖傳輸,，是適用于有限空間的集成化系統(tǒng)。
主要特點：● 光纖耦合
● 高效CL信號收集
● 掃描成像,、線掃描,、點測量
● 多種光柵選項
● 多種焦長光譜儀選項：140mm-320mm
● 光譜范圍：200nm-1000nm或400nm-1700nm
重點應(yīng)用領(lǐng)域：
陰極發(fā)光光譜儀（CL）是用來表征材料中的缺陷，元素和雜質(zhì)追蹤的強大分析工具,，廣泛適用于各個應(yīng)用領(lǐng)域,。
1、材料科學(xué)
● 半導(dǎo)體和光電材料
● 介電/陶瓷
● 氧化物膜
● 玻璃
2,、礦物,、地質(zhì)
● 碳酸巖
● 晶體
● 金剛石
● 鋯石、方解石,、白云石3,、公安4、生命科學(xué)
CL光譜及成像：
| ■CL光譜：使用CL測量光譜時,，可在電鏡下觀察并選擇待測樣品區(qū)域。 | ■快速CL成像：將掃描電子束與您的光譜儀同步,，提供快速成像方案,。使用HCLUE系統(tǒng)測量的GaN樣品，測量中使用了超快SWIFTTM成像模式,。 |
礦物樣品中的白云石和磷酸鈣,。測量使用Flex-CLUE系統(tǒng)，配備iHR320光譜儀和開放電極式CCD探測器,。感謝Prof A. Jambon,， UPMC France提供數(shù)據(jù) | 左圖：使用偽彩色顯示350nm-450nm之間發(fā)射光譜區(qū)。figure 1,， Hyperspectral CL mapping 中圖：電鏡下的樣品圖像,。figure 2， SE image 右圖：對應(yīng)的光譜,，其中不同色彩區(qū)域與左圖中顯示的顏色對應(yīng),。figure 3， CL spectral (RGB) |
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