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儀器簡介：電子束入射到樣品上,，即可用光學(xué)方法接收并分析陰極發(fā)光（CL）,，從而提供樣品詳細的物理特性。它是一種無損的分析方法,，結(jié)合電鏡可提供與形貌相關(guān)的高空間分辨率光譜結(jié)果,，是納米結(jié)構(gòu)和體材料的獨特分析工具。
HCLUE是一款基于反射鏡耦合優(yōu)化的CL系統(tǒng),，結(jié)合了Jobin Yvon光譜技術(shù)制造的光譜儀模塊,，具有高靈敏度性能，適用于弱信號測量,?？赏瑫r配備兩個探測器，以獲得更大光譜范圍,。
原理圖主要特點：● 反射鏡直接耦合
● 高靈敏度
● 掃描成像,、線掃描、點測量
● 多種光柵選項
● 多種焦長光譜儀選項：320mm-550mm
● 可配雙探測器以獲得**光譜范圍：185nm-2500nm
重點應(yīng)用領(lǐng)域： 陰極發(fā)光光譜儀（CL）是用來表征材料中的缺陷,，元素和雜質(zhì)追蹤的強大分析工具,，廣泛適用于各個應(yīng)用領(lǐng)域。
1,、材料科學(xué)
● 半導(dǎo)體和光電材料
● 介電/陶瓷
● 氧化物膜
● 玻璃
2,、礦物、地質(zhì)
● 碳酸巖
● 晶體
● 金剛石
● 鋯石,、方解石,、白云石
3、生命科學(xué)
4,、公安
CL光譜及成像：
| ■CL光譜：使用CL測量光譜時,，可在電鏡下觀察并選擇待測樣品區(qū)域。 | ■快速CL成像：將掃描電子束與您的光譜儀同步,，提供快速成像方案,。使用HCLUE系統(tǒng)測量的GaN樣品，測量中使用了超快SWIFTTM成像模式,。 |
礦物樣品中的白云石和磷酸鈣,。測量使用Flex-CLUE系統(tǒng),，配備iHR320光譜儀和開放電極式CCD探測器。感謝Prof A. Jambon,， UPMC France提供數(shù)據(jù) | 左圖：使用偽彩色顯示350nm-450nm之間發(fā)射光譜區(qū),。figure 1， Hyperspectral CL mapping 中圖：電鏡下的樣品圖像,。figure 2,， SE image 右圖：對應(yīng)的光譜，其中不同色彩區(qū)域與左圖中顯示的顏色對應(yīng),。figure 3,， CL spectral (RGB) |
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