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擴(kuò)散氧化爐（生產(chǎn)型）品牌
艾科威產(chǎn)地
湖南樣本
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設(shè)備特點
●可滿足閉管干氧氧化,、濕氧氧化、氫氧合成氧化,、擴(kuò)散,、退火常壓、退火/推進(jìn),、合金等工藝
●采用高可靠性工控機(jī)+PLC模式,，對爐溫、進(jìn)退舟,、氣體流量,、閥門進(jìn)行全自動控制,實現(xiàn)全部工藝過程自動化；
●具有友好的人機(jī)界面,，用戶可以方便地修改工藝控制參數(shù),，并可隨時顯示各種工藝狀態(tài)；
●具有多種工藝管路,，可供用戶方便選擇,；
●具有強(qiáng)大的軟件功能，配有故障自診斷軟件,，可大大節(jié)省維修時間,；
●恒溫區(qū)自動調(diào)整，串級控制,，可準(zhǔn)確控制反應(yīng)管的實際工藝溫度,；
●具有超溫、斷偶,、熱偶短路,、工藝氣體流量偏差報警和保護(hù)功能；
●可根據(jù)用戶要求定制產(chǎn)品,。
技術(shù)指標(biāo)
●適用晶片尺寸 ： 2~8英寸圓片
●工作溫度： 600℃～1300℃,；
●可配工藝管數(shù)量：1~4管/臺
●恒溫區(qū)長度及精度：≤±0.5℃/600~800mm （800℃～1300℃），
● 單點溫度穩(wěn)定性：≤±0.5℃℃ /24h （1100℃）,；
●溫度斜變能力：**升溫速率20℃/min,，**降溫速率5℃/min；
應(yīng)用范圍
半導(dǎo)體集成電路,、先進(jìn)封裝,、電力電子（IGBT）、微機(jī)械（MEMS）、光伏電池（Photovoltaic）制造等領(lǐng)域,，適用2~8英寸工藝尺寸擴(kuò)散,、氧化、退火及合金工藝
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