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SELA EM3預減薄系統(tǒng)
SELA EM3預減薄系統(tǒng)

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產(chǎn)地

以色列

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暫無
北京中興百瑞技術(shù)有限公司

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EM3是一個專用全自動化的電鏡樣品減薄系統(tǒng),,它制備的 TEM/SEM 樣品可以用來觀測橫截面和平面。由于具備低溫冷卻干法切割加工等特點,,EM3 系統(tǒng)可以用來制備晶體和非晶體材料樣品,。制備的樣品可以在一個可兼容的或者標 準的TEM樣品臺上,以便再次改進,。

特點:

靈活的低溫冷卻干法切割加工

※ TEM側(cè)面觀察,、TEM平面觀察以及TEM樣品制備

目標距離樣品邊緣0.25mm以內(nèi)

不需要載物臺,可以處理多個目標的側(cè)面觀察

※ 300mm的平臺,,可以實現(xiàn)全晶片的觀察和標記

全晶片定位能力

※ 7500倍的高放大倍數(shù)

用圖像識別軟件進行快速處理

多功能的封裝能力

※Xact專用樣品制備

傾斜光刻樣品制備

規(guī)格描述:

樣品輸入 **:18×18×1 mm *?。?.5×1.5×0.05 mm

薄片寬度

FIB: 15μm,± 5μm

Xact:30μm,,± 5μm

控制:可進行多軸運動控制的工業(yè)電腦

軟件:基于WINDOWS * 的專用軟件

視覺系統(tǒng):

2.5倍,、10倍、50倍物鏡光學顯微鏡,,白光,,明場照 明自動調(diào)焦,,視頻相機, 圖像采集器,,邊緣檢測算法

界面: 數(shù)字鍵盤,,鼠標(追蹤球),15寸TFT顯示器

外形尺寸:120(長)×130(寬)×170(高)cm

重量:300Kg

優(yōu)點:

應用于特定點和普通區(qū)域

能夠多次改進TEM樣品

包含漫射和聚焦離子束加工界面

提高整體質(zhì)量

提高產(chǎn)量分析

提高性能分析

低成本

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10分

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