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Sievers硼分析儀可用于去離子超純水應(yīng)用,，實現(xiàn)對超低硼含量的連續(xù)自動在線監(jiān)測,。該分析儀每小時能夠檢測10個樣品，具有15 ppt硼的檢測極限（LOD）,。Sievers硼分析儀設(shè)計用于滿足設(shè)備管理人員,、去離子水工程師和晶圓制造工程師的需求。
易于操作和維護
Sievers硼分析儀可以預(yù)測混床失效,、優(yōu)化EDI性能并控制拋光循環(huán)水的硼水平,。這款硼分析儀可以在二氧化硅釋放前檢測到硼含量的增加，這有助于防止二氧化硅滲漏到超純水中。Sievers硼分析儀可顯著降低運營成本,，保持超純水系統(tǒng)的質(zhì)量,。
硼分析儀的特點與優(yōu)勢
連續(xù)在線監(jiān)測低至15 ppt的硼
多流路選項——*多四個樣品流
豐富的輸出選擇——四個獨立的4-20 mA輸出，一個獨立的RS-232,，一個通用并行打印機端口,，兩個報警輸出和四個獨立的二進制輸出
*少的維護與耗材需求
配件包包含安裝所需的配件
半導(dǎo)體超純工藝水
超純水電力應(yīng)用
運行規(guī)格 | |
|---|---|
| 濃度范圍 | 0.015至20 ppb B |
| 檢測限（LOD） | 0.015 ppb B |
| 準確度 | ± 0.01 ppb B <0.05 ppb B ± 15% >0.05 ppb B |
| 精確度 | ± 3%或0.005 ppb B（以較高者為準） |
| *小樣品 電阻率 | 15 megaohms–cm |
| 樣品溫度 | 15°-40°C |
| 樣品流速 | 0.1 -0.5 L/分鐘 |
| 環(huán)境溫度 | 10°C–40°C |
| 樣品壓力 | 20-100 psig（138-689 kPa） |
| 校準穩(wěn)定性 | 通常12個月 |
| 樣品顆粒 | 15微米樣品預(yù)過濾 |
| 廢物 | 重力排放（無背壓） |
儀器規(guī)格 | |
| 輸入 | 5個隔離二進制輸入 |
| 輸出 | 4個獨立4-20 mA輸出，1個獨立RS-232,，1個通用并行打印機端口,，2個報警輸出，4個獨立二進制輸出 |
| 尺寸 | 20.625 H x 17.25 W x 12.25 D英寸（53 x 44 x 31 cm） |
| 重量 | 48 lbs（22kg） |
| 認證 | CE（點擊此處獲取符合性聲明） |
耗材 | |
| 硼試劑 | 90天（12分鐘取樣率） 45天（6.5分鐘取樣率） |
| 試劑柱 | 12個月 |
| 零柱 | 12個月 |
暫無數(shù)據(jù),！
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