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Semiconsoft MProbe薄膜測(cè)厚儀

M p r o b e 讓 你 成 為 測(cè) 量 專 家 !

大部分半透明的或具有輕微吸收性的薄膜能夠被快速、可靠的測(cè)量：

氧化物,、氮化物,、感光耐蝕膜、聚合物,、半導(dǎo)體(Si,， aSi，polySi),、半導(dǎo)體化合物(AlGaAs,，InGaAs,，CdTe,，CIGS),、硬涂層(SiC， DLC),， 聚合物涂料 (Paralene,， 聚甲基丙烯酸甲酯， 聚酰胺),， 薄金屬薄膜等,。

厚度范圍: 1 nm-1 mm

波長范圍: 200nm -5000nm

在薄膜太陽能電池中的應(yīng)用:

aSi， TCO,， CIGS,， CdS， CdTe-全太陽能堆棧測(cè)量

LCD,， FPD應(yīng)用:

ITO,， 細(xì)胞間隙，聚酰胺,。

光學(xué)涂層:

介質(zhì)濾波器,，硬涂層，防反射涂層半導(dǎo)體和電解質(zhì): 氧化物,，氮化物,， OLED堆。

實(shí)時(shí)測(cè)量和分析,。各種多層次的,， 高強(qiáng)度的，厚的,， 獨(dú)立和不均勻的層 ,。

豐富的材料庫 (500多種材料) – 新材料容易增添。

支持參數(shù)化材料:

Cauchy,， Tauc-Lorentz,， Cody-Lorentz， EMA 等?

使用靈活:

可聯(lián)網(wǎng)在操作臺(tái)桌面或現(xiàn)場(chǎng)進(jìn)行研究與開發(fā),。用TCP或Modbus接口能容易的和外部系統(tǒng)連接,。

測(cè)量參數(shù)：

厚度、光學(xué)常數(shù),、表面粗糙度,。

界面友好強(qiáng)大:

測(cè)量和分析設(shè)置簡(jiǎn)單。背景和縮放修正,，連接層和材料,。

離線數(shù)據(jù)分析：

仿真和靈敏度分析，多樣品測(cè)量，生產(chǎn)批量處理,。

MProbe系統(tǒng)示意圖

主要參數(shù)

* T,， n & k 測(cè)量的厚度范圍為25nm – 5um

其他配置也是可以做到,，歡迎原始設(shè)備制造商咨詢和定制開發(fā)項(xiàng)目。

對(duì)所有系統(tǒng)中的配件有一年的質(zhì)量保證,。