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Semiconsoft MProbe 膜厚測試儀
MProbe 讓 你 成 為 測 量 專 家 ,！
大部分半透明的或具有輕微吸收性的薄膜能夠被快速、可靠的測量：氧化物,、氮化物,、感光耐蝕膜、聚合物,、半導(dǎo)體(Si,， aSi，polySi),、硬涂層(SiC,， DLC)， 聚合物涂料 (聚對(duì)二甲苯,，PMMA,，聚酰胺)， 薄金屬薄膜等,。
厚度和其他參數(shù)的均勻性測量對(duì)于許多應(yīng)用程序是很重要的,。
映射選項(xiàng)包括:
1.XY電動(dòng)平臺(tái)(150，200和300毫米游程)
2.固體19 x19"鋁合金平臺(tái)
3.探頭架(反射/透射測量均可)與光學(xué)系統(tǒng)
4.調(diào)節(jié)器
5.支持軟件(映射配方,，等等)。
定位精度 | < 2 μm |
分辨率 | < 0.5 μm |
驅(qū)動(dòng) | 步進(jìn)電機(jī) |
調(diào)節(jié)器 | 一體化平臺(tái) |
通訊 | 串口(RS232) |
尺寸 | 19” x 19” x 10” ( 6” 和 8”階段) |
重量 | 12 kg |
硬件選項(xiàng) | |
-150XYM | 6”x6” (150x150mm) XY電動(dòng)平臺(tái) |
-200XYM | 8 x8”(200x200mm) XY電動(dòng)平臺(tái) |
-300XYM | 12x12”(300x300mm) XY電動(dòng)平臺(tái) |
-VAC | 真空夾盤(樣品架通過一個(gè)電機(jī)泵插入微孔) |
暫無數(shù)據(jù),！
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