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| 測(cè)量系統(tǒng) | |
| 測(cè)量原理 | 白光干涉法 |
| Z-定位系統(tǒng) | Piezo物鏡調(diào)整系統(tǒng) |
| 高度測(cè)量范圍 | **到400um |
| 物鏡放大 測(cè)量領(lǐng)域 橫向*小可溶解的間隔 | 2.5x，5x,，10x,，20x，50x,，100x 4.12x3.06mm to 0.103x0.075mm 10.54um or 0.55um |
| 光源 | LED |
| 測(cè)量時(shí)間 | < 20 sec. |
| 軟件 | |
| smartWLI | 軟件用于測(cè)量地形和使用一個(gè)直接接口到MountainsMap分析軟件輸出的3D數(shù)據(jù) |
| MountainsMap | 廣泛的分析軟件以及輪廓和三維可視化,、測(cè)量數(shù)據(jù)預(yù)處理和后處理 DIN EN ISO粗糙度和高度的含量測(cè)定，順序處理,，測(cè)量記錄 |
| File formats | ASCII,， SUR， BCR-STM,， BMP,， JPEG， TIFF |
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