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Plasma Etch PE-75等離子清洗器
Plasma Etch PE-75等離子清洗器

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美國PE公司1980年就開始致力于電子行業(yè)使用的等離子設(shè)備研發(fā)及相關(guān)服務(wù),, 至今已成為全美***的等離子系統(tǒng)解決方案專業(yè)供應(yīng)商,, 其旗下PE系列, BT大尺寸系列,,大氣壓系列,, PCB專用系列, Roll-to-Roll系列的發(fā)展歷史已經(jīng)超過了30年,, 廣泛應(yīng)用于全球各大小型生產(chǎn)及研發(fā)實驗室,, 知名客戶如美國宇航局NASA, 波音Boeing,, 霍尼韋爾Honeywell,, 摩托羅拉Moto, 德國拜耳Bayer,, 軍用飛機領(lǐng)軍企業(yè)洛克希德馬丁Lockheed-Martin,, 及全美各大名校及科研院所如哈佛大學(xué), 麻省理工,, 萊斯大學(xué),, 橡樹嶺國家實驗室等等。

美國PE擁有等離子技術(shù)領(lǐng)域里*頂尖的技術(shù), 憑借著多年研發(fā)和突破性創(chuàng)新,, 先已擁有了多項技術(shù)**,, 如**的溫控技術(shù)和**的靜電屏蔽技術(shù), 使其等離子設(shè)備能提供****的處理效率,, 均勻性和可靠性,, 其刻蝕清洗效率是市面上其他等離子設(shè)備的三倍以上。

PE-25,,PE-50,,PE-75,PE-100,,PE-200臺式等離子表面處理設(shè)備是專門針對于大學(xué),,研究機構(gòu)和工廠研發(fā)設(shè)計的小批量樣品處理裝置, 性價比高,,性能優(yōu)越,,操作方便。

PE系列優(yōu)勢如下:

1. 真空腔室均采用航空特種鋁,,研究表明采用這種特級鋁材的腔體材質(zhì)可以微調(diào)每個等離子體以保證整個處理過程的**均勻性。性能遠(yuǎn)優(yōu)于傳統(tǒng)石英,,玻璃或不銹鋼腔室

2. 腔體一體成型,,無焊接縫隙, 具有非常好的耐用性和整體穩(wěn)定性,。

3. 電容平行板設(shè)計,, **效*均勻的等離子體產(chǎn)生方式。 腔體與電極之間的間隙可到63mm至140mm,,可以輕松將大尺寸不規(guī)則實驗樣品放入腔體內(nèi)處理,。

4. 操作簡便, 面板的操作部分,,非傳統(tǒng)按鈕旋鈕控制的設(shè)計使得操作控制更加便捷和避免人為誤操作,。一般操作人員在極短的時間內(nèi)就可以熟練操作,只需要幾分鐘就可上手掌握,。

5. 安全保障:在小型設(shè)備中,,**引入一鍵急停保護(hù)按鈕,當(dāng)參數(shù)設(shè)置有誤而設(shè)備已經(jīng)啟動的時候,,可以快速終止實驗,,以*小程度降低因操作失誤而造成對樣品的損害。

6. **的粉體收集裝置,,可以處理500~1000ML粉體

技術(shù)參數(shù)如下:

應(yīng)用領(lǐng)域如下:

目前設(shè)備廣泛應(yīng)用于:等離子清洗,、刻蝕、改性、灰化,、涂鍍和反應(yīng)離子刻蝕,,在真空電子、LED,、太陽能光伏,、集成電路、生命科學(xué),、半導(dǎo)體科研,、半導(dǎo)體封裝、芯片制造,、MEMS器件等領(lǐng)域有廣泛應(yīng)用,。

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