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儀器簡介：

通過位置精度較高的自動樣品臺和高靈敏度性能，可以對微小異物進(jìn)行快速掃描和檢查,，也可對電子基板等復(fù)合材料制品的微小特定部位實(shí)施定點(diǎn)精確測量,。

型號名稱：EA6000VX

X射線源：50kV、1mA,、空冷式

檢測器：半導(dǎo)體檢測器（無需液氮）

一次濾波器：6種模式自動切換

準(zhǔn)直器：0.2,、0.5、1.2,、3mm 自動切換

樣品室大?。篧580mm×D450mm×H150mm

可全面測量250mm×200mm樣品

特點(diǎn)：

1.快速掃描

憑借**150萬CPS的高計(jì)數(shù)率檢測器完成高靈敏度的測量，以及借助**250 mm×200 mm范圍掃描的快速電動樣品臺,，實(shí)現(xiàn)快速掃描測量,。對于范圍為100 mm×100 mm的情況，可在2～3分鐘內(nèi)檢測出端子部分的鉛并確定其位置,。

2.連續(xù)多點(diǎn)測量

*多可指定500個測量位置進(jìn)行連續(xù)多點(diǎn)測量,。由于采用自動測量方式，因此在測量大量樣品是,，也可發(fā)揮高效率,。

3.高精密重合

通過Telecentric Lens 系統(tǒng)和高速?高精度XY平臺，將元素掃描像和光學(xué)成像進(jìn)行重合對微小部品的中心部分的目標(biāo)元素也能進(jìn)行簡單觀察,。**250 mm×200 mm上方觀察,，并且能夠?qū)崿F(xiàn)廣域位置*小誤差為100 μm以內(nèi)的精確定位。

4.微小部位測量

在FT系列中被公認(rèn)的測量鍍膜膜厚儀器就是由EA6000VX,。不用說極薄的鍍金等膜厚測量,，即便是在進(jìn)行鍍膜鐘所含的Pb等有害物質(zhì)分析的膜壓測量的同時也可進(jìn)行膜厚測量,。比如也可進(jìn)行無鉛焊錫鍍層及引線框架上Sn鍍層，無電解Ni鍍膜中所含的有害物質(zhì)的濃度測量,。

5.環(huán)境中限制物的測量

RoHS等限制物的高靈敏度測量,，短時間內(nèi)測出樹脂、金屬等中含有的微量環(huán)境限制物,。對復(fù)合樣品也可專注到特定部位進(jìn)行測量

6.輕元素測量

通過安裝充氦選購項(xiàng),，可以分析鈉開始的輕元素。測量中能夠獨(dú)立運(yùn)轉(zhuǎn)的氦氣系統(tǒng),。將使用成本**大化降低,。

7.透視掃描機(jī)能

筆記本、手機(jī)等不能透過外包裝看到內(nèi)部構(gòu)造的產(chǎn)品,，無需拆解就可得到不僅僅是基板上的Pb,，甚至其他各種元素的掃描圖。通過比較X射線照射后得到的元素掃描圖像,，可以了解關(guān)于產(chǎn)品內(nèi)部部件構(gòu)造的各種情報(bào),。

8.異物檢測EA6000VX

EA6000VX通過快速掃描功能可以在幾分中內(nèi)檢測出寬廣范圍（**250 mm×200 mm）內(nèi)含有的幾十 μm的微小金屬異物，并查明其具體位置,。也可檢測出樹脂等有機(jī)物內(nèi)部還有的微小,、微量金屬異物。

9.絕*對安全,、安心的操作性

自動接近,、防止沖撞功能 操作臺上樣品一旦設(shè)定好啟動后，自動測量出樣品的**大高度,，移動到*適合的測量高度,。即便是復(fù)雜形狀的樣品，操作員也可輕松測量,。另外,，即便通過操作指南調(diào)整了測量高度，由于安裝了防止沖撞傳感器,，因此不會使樣品受到損傷,。