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（1）應(yīng)用領(lǐng)域
計(jì)量領(lǐng)域（平面平晶檢測），
半導(dǎo)體工業(yè)（晶片檢測），
大平板顯示（平面檢測）,，
手機(jī)工業(yè)（背板檢測），
光學(xué)加工（窗口玻璃檢測）,，
高精度精密機(jī)械（平面元件檢測）,，
LED工業(yè)（藍(lán)寶石襯底檢測），
數(shù)據(jù)存儲(chǔ)和科研院校教學(xué)儀器等多種領(lǐng)域,。
平面平晶,、窗口玻璃、光學(xué)平面,、金屬平面,、陶瓷平面等光滑表面面形的高精度快速測量，90°直角棱鏡和角錐測量,。
（2）產(chǎn)品綜述
無應(yīng)力平面檢測干涉儀是高性能模塊化組合檢測干涉儀中的一種,，
它采用組合式激光干涉儀作為核心部件，主要用于高效檢測高精度平面,。
該產(chǎn)品包括光源,、主機(jī)、成像以及鏡頭和相移等四大模塊,，主要技術(shù)指標(biāo)已達(dá)到國際水平,， 采用更加簡便操作的俯式測量,，擁有極高的測量精度和測量重復(fù)性，
突破了一等平面平晶限制,，且其采樣點(diǎn)可達(dá)上百萬像素,，能客觀反映被測平面全貌。不僅測量精度高,，而且具有極高的測量效率,。
此款干涉儀可廣泛應(yīng)用高精度光學(xué)元件制造、計(jì)量檢測,、生物醫(yī)學(xué),、
航空航天、國防,、微電子,、能源等眾多領(lǐng)域具有廣闊的市場前景。
（3）參數(shù)性能
測量原理： | 斐索干涉原理 |
光源波長： | 632.8nm |
樣品準(zhǔn)直： | 使用兩個(gè)光點(diǎn) |
電源: | 220V 50HZ /11 0V 60HZ |
操作系統(tǒng)： | Windows7/10,， 32/64bit |
CCD分辨率： | 1280*960像素 |
軟件： | H&L-p數(shù)字化相移分析軟件 |
精密度： | /600 PV |
重復(fù)性： | 入/500 PV |
重復(fù)性： | 入/1000 RMS |
透射平面鏡精度： | A/20 PV |
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