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MEMSMap 510激光多普勒振動(dòng)測(cè)量系統(tǒng)

we utilize techniques where the object is illuminated by an expanded laser beam and imaged by a built-in camera. When the object vibrates,， the reflected laser light also “vibrates” and the object displacement modulates the laser light accordingly. This is detected in full field maps of surface vibrations， static deflections and internal defects in composite materials.

我們使用的技術(shù)是用擴(kuò)展的激光束照射物體,，并用內(nèi)置照相機(jī)成像,。當(dāng)物體振動(dòng)時(shí)，反射的激光也“振動(dòng)”,，物體位移相應(yīng)地調(diào)制激光,。這可以在復(fù)合材料的表面振動(dòng)、靜態(tài)變形和內(nèi)部缺陷的全場(chǎng)圖中檢測(cè)到,。

基于激光的微結(jié)構(gòu)高頻,、低振幅振動(dòng)三維測(cè)量系統(tǒng)。

MEMSMap 510還可以測(cè)量靜態(tài)位移,，它可以測(cè)量粗糙和光滑的表面,，具有微米的空間分辨率。

通過(guò)使用長(zhǎng)焦距物鏡,，MEMSMap 510可以通過(guò)窗口和熱過(guò)濾器,、鏡子以及液體介質(zhì)進(jìn)行測(cè)量。

•MEMS和NEMS •微結(jié)構(gòu) •傳感器

•振動(dòng)模式分析•響應(yīng)譜•壓力傳感器•加速度計(jì)

•陀螺儀•碰撞傳感器•高溫測(cè)量•真空室測(cè)量

•熱偏轉(zhuǎn)測(cè)量•老化效應(yīng)分析

•汽車(chē)工業(yè)•傳感器工業(yè)•醫(yī)療工業(yè)•航空航天工業(yè)•電子工業(yè)•研發(fā)•產(chǎn)品測(cè)試

MEMSMap 510使用擴(kuò)展的激光束照亮目標(biāo)區(qū)域,，同時(shí)通過(guò)顯微物鏡將目標(biāo)成像到CMOS傳感器陣列上,。

對(duì)于平面外測(cè)量，使用內(nèi)部參考光束干擾目標(biāo)光,。對(duì)于平面內(nèi)測(cè)量,，兩束激光用于物體照明。

對(duì)于振動(dòng)測(cè)量,，系統(tǒng)計(jì)算機(jī)使用信號(hào)發(fā)生器驅(qū)動(dòng)激勵(lì)裝置,，目標(biāo)物體在一個(gè)頻率范圍內(nèi)被激勵(lì)。

振動(dòng)振幅條紋可以實(shí)時(shí)顯示,，同時(shí)采用獨(dú)特的記錄算法計(jì)算數(shù)值振幅和相位圖,。

對(duì)于靜態(tài)撓度測(cè)量，光電管技術(shù)基于相移來(lái)記錄和計(jì)算被測(cè)物體的靜態(tài)撓度,。

激光器類(lèi)型：Nd：YAG/2

激光波長(zhǎng)：532nm

CCD分辨率：1936*1216/CMOS

振幅分辨率（數(shù)字模式）：0.1nm

振幅分辨率（實(shí)時(shí)模式）~1nm

3D頻率范圍：0-240MHz

激光多普勒測(cè)振儀以其測(cè)速精度高,、測(cè)速范圍廣、動(dòng)態(tài)響應(yīng)快,、非接觸測(cè)量等優(yōu)點(diǎn)在航空航天,、機(jī)械、生物學(xué)、醫(yī)學(xué)以及工業(yè)生產(chǎn)等領(lǐng)域得到了廣泛應(yīng)用和快速發(fā)展,。激光測(cè)振儀主要應(yīng)用多普勒效應(yīng)實(shí)現(xiàn)物體的振動(dòng)測(cè)試,，利用激光的非接觸測(cè)量可實(shí)現(xiàn)一些特殊環(huán)境下的測(cè)試，例如對(duì)微電子元件（MEMS）,，機(jī)床高速旋轉(zhuǎn)軸的徑向跳動(dòng)及軸向振動(dòng)以及在高溫腐蝕環(huán)境下的測(cè)試,，實(shí)現(xiàn)了傳統(tǒng)的接觸式傳感器在這些應(yīng)用領(lǐng)域的空白。

The MEMSMap 510 is an excellent tool for measurement of resonators ,， membranes,， cantilevers， beams,， transducers and so on.

memsmap510是測(cè)量諧振器,、薄膜、懸臂梁,、梁,、傳感器等的極好工具。

使用這款測(cè)振儀的客戶(hù)名單如下：

TDK,，TXC,，京瓷，NDK,，Rakon,，Epson，Toyota,，Suzuki,，尼桑，本田,，沃爾沃,，OCE,，Avio,，霍尼韋爾，勞斯萊斯,，F(xiàn)FI,，Olympiatoppen，諾基亞,，Nammo,，Hitachi，Kyocera,，Aviadvigatel,，IHI，ESA,，Statoil,。