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物理特性薄膜表征系統(tǒng)，高度集成且易于使用的測(cè)量平臺(tái),。

薄膜的物理性質(zhì)不同于大塊材料,，因?yàn)?/span>由于尺寸較小和高縱橫比使寄生表面效應(yīng)更強(qiáng)！

• 增強(qiáng)表面散射的影響（a）

• 附加邊界散射（b）

• 超薄層的量子約束（c）

LINSEIS薄膜物性分析儀是表征各種薄膜樣品優(yōu)異測(cè)量工具,。它是一種易于使用的獨(dú)立系統(tǒng),，使用正在申請(qǐng)**的測(cè)量系統(tǒng)設(shè)計(jì)，可提供高質(zhì)量的結(jié)果,。

組件

基本設(shè)置包括一個(gè)可以輕松沉積樣品的測(cè)量芯片,，以及提供所需環(huán)境條件的測(cè)量室。根據(jù)應(yīng)用,，該設(shè)置可與鎖定放大器和/或強(qiáng)電磁鐵一起使用,。 測(cè)量通常在UHV下進(jìn)行，并且在測(cè)量期間使用LN2和強(qiáng)力加熱器將樣品溫度控制在-170°C和280°C之間,。

預(yù)制測(cè)量芯片

該芯片將用于熱導(dǎo)率測(cè)量的3ω技術(shù)與用于測(cè)量電阻率和霍爾系數(shù)的4點(diǎn)Van-der-Pauw技術(shù)相結(jié)合,。賽貝克系數(shù)可以使用位于Van-der-Pauw電極附近的附加電阻溫度計(jì)來測(cè)量。 為了便于樣品制備,，可以使用剝離箔掩?；蚪饘訇幱把谀！?該配置允許幾乎同時(shí)表征通過PVD（例如熱蒸發(fā),，濺射,，MBE），CVD（例如ALD）,，旋涂,，滴鑄或噴墨打印制備的樣品。

該系統(tǒng)的一大優(yōu)點(diǎn)是在一次測(cè)量運(yùn)行中同時(shí)確定各種物理特性,。所有測(cè)量都采用相同（平面內(nèi)）方向,，并且具有很高的可比性。

基本測(cè)量單元 ：

測(cè)量室,，真空泵,，帶加熱器的支架，電子頰側(cè)裝置,，集成鎖相放大器,，3w方法分析軟件，計(jì)算機(jī)和應(yīng)用軟件,?？蓽y(cè)以下物理參數(shù)：

• λ-熱傳導(dǎo)系數(shù) (穩(wěn)態(tài)法/平面內(nèi)方向)

• ρ - 電阻率

• σ - 電導(dǎo)率

• S - 賽貝克系數(shù)

• ε – 發(fā)射率

• Cp - 比熱容

磁測(cè)量單元

可根據(jù)需求選擇集成式電磁鐵，可測(cè)物理參數(shù)如下：

• A_H - 霍爾常數(shù)

• μ –遷移率

• n -載流子濃度

薄膜材料性能有別于塊體材料之處

- 因小尺寸和高縱橫比所導(dǎo)致的表面效應(yīng)如：邊界散射和量子限域效應(yīng)

*價(jià)格范圍僅供參考,，實(shí)際價(jià)格與配置等若干因素有關(guān),。如有需要,，請(qǐng)撥打電話咨詢（021-50550642；010-62237791）,。我們定會(huì)將竭盡全力為您制定完善的解決方案,。