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林賽斯薄膜激光導(dǎo)熱測(cè)量儀
林賽斯薄膜激光導(dǎo)熱測(cè)量儀

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德國

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德國林賽斯熱分析

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材料的熱物理性質(zhì)以及*終產(chǎn)品的傳熱優(yōu)化在工業(yè)應(yīng)用領(lǐng)域變得越來越重要,。

經(jīng)過幾十年的發(fā)展,,閃射法已經(jīng)成為常用的用于各種固體、粉末和液體熱導(dǎo)率,、熱擴(kuò)散系數(shù)的測(cè)量方法,。

薄膜熱物性在工業(yè)產(chǎn)品中正變得越來越重要,如:相變光盤介質(zhì),、熱電材料,、發(fā)光二極管(LED ) ,相變存儲(chǔ)器,、平板顯示器以及各種半導(dǎo)體,。在這些工業(yè)領(lǐng)域中,特定功能沉積膜生長在基底上以實(shí)現(xiàn)器件的特殊功能,。由于薄膜的物理性質(zhì)與塊體材料不同,,在許多應(yīng)用中需要專門測(cè)定薄膜的參數(shù)。

基于已實(shí)現(xiàn)的激光閃射技術(shù),,LINSEIS TF-LFA 薄膜導(dǎo)熱測(cè)試儀(Laserflash for thin films)可以測(cè)量80nm——20μm厚度薄膜的熱物理性質(zhì),。

1.瞬態(tài)熱反射法(后加熱前檢測(cè)(RF)):

由于薄膜材料的物理性質(zhì)與基體材料顯著不同,,必需要有相應(yīng)的技術(shù)來克服傳統(tǒng)激光閃射法的不足,即瞬態(tài)熱閃射法,。

測(cè)量模型與傳統(tǒng)激光閃射法相同:檢測(cè)器和激光器在樣品兩側(cè),。考慮到紅外探測(cè)器測(cè)試薄膜太慢,,因此檢測(cè)是通過熱反射方法完成的,。該技術(shù)的原理是材料在加熱時(shí),表面反射率的變化可*終用于推導(dǎo)出熱性能,。測(cè)量反射率隨時(shí)間的變化,,得到的數(shù)據(jù)代入包含的系數(shù)模型里面并快速計(jì)算出熱性能。

2. 時(shí)域熱反射法(前加熱前檢測(cè)(FF)):

時(shí)域熱反射技術(shù)是另一種測(cè)試薄層或薄膜熱性能(熱導(dǎo)率,,熱擴(kuò)散率)的方法,。測(cè)量方式的幾何構(gòu)造被稱為“前加熱前檢測(cè)(FF)”,因?yàn)闄z測(cè)器和激光在樣品上的同一側(cè),。該方法可以應(yīng)用于非透明基板上不適合使用RF技術(shù)的薄膜層,。

3. 瞬態(tài)熱反射法(RF)和時(shí)域熱反射法(FF)相結(jié)合:

兩種方法可以集成在一個(gè)系統(tǒng)中并實(shí)現(xiàn)兩者優(yōu)點(diǎn)的結(jié)合。

溫度范圍*RT
RT -- 500°C
-100°C -- 500°C
激光器 Nd:YAG 激光
脈沖電流≤90mJ (軟件控制)
脈寬8 ns
激光探頭HeNe-激光器 (632nm),, 2mW
前端熱反射 Si-PIN-Photodiode,, 有效直徑: 0.8 mm,
直流電壓 … 400MHz,, 響應(yīng)時(shí)間: 1ns
后端熱反射quadrant diode,, 有效直徑: 1.1 mm
直流電壓 … 100MHz, 響應(yīng)時(shí)間: 3.5ns
測(cè)量范圍0,,01 mm2/s -- 1000 mm2/s
樣品直徑圓形樣品 φ10...20 mm
樣品厚度80 nm -- 20 μm
樣品數(shù)量6樣品自動(dòng)進(jìn)樣器
氣氛惰性,、氧化性、還原性
真空度10E-4mbar
電路板集成式
接口USB

*可更換爐體

*價(jià)格范圍僅供參考,,實(shí)際價(jià)格與配置等若干因素有關(guān),。如有需要,請(qǐng)撥打電話咨詢,。我們定會(huì)將竭盡全力為您制定完善的解決方案,。

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