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ContourGT – InMotion 三維光學顯微鏡

**的器件動態(tài)分析功能

ContourGT InMotion 三維光學顯微鏡具有先進,、可靠、全面的表面分析功能,，能夠實時表征運行中的動態(tài)MEMS器件及其他微器件的形態(tài),。這種臺式顯微鏡系統(tǒng)運用白光干涉的原理，能夠以非接觸的方式測量激勵狀態(tài)下的MEMS器件表面三維形貌特征,，測量范圍從0.1nm到10mm,。ContourGT InMotion 將Bruker**頻閃技術與工業(yè)**的Vision® 數(shù)據(jù)采集/分析軟件**結合，能夠同時實現(xiàn)微器件的靜態(tài)測量和動態(tài)分析,，測量頻率范圍從11Hz到2.4MHz,。ContourGT InMotion融合了靈活的分析,，便捷的操作與先進的**技術，是表征特征頻率和測量形態(tài)變化,、表面粗糙度,、臺階高度、關鍵尺寸的理想解決方案,，有助于提高器件的質控水平和產(chǎn)量,。

全面的 MEMS測量解決方案

§ 快速、準確,、非接觸式的微器件靜態(tài)/動態(tài)3D表征

§ 11Hz到2.4MHz超寬測量頻率范圍,，完整周期內(nèi)

全面的器件動態(tài)分析頻率、振幅和相位響應表征

§ 縱向分辨率小于1nm

§ 在動態(tài)和靜態(tài)模式下準確測量0.1nm至10mm高度范圍內(nèi)的特征形貌

源自數(shù)十年持續(xù)的硬件創(chuàng)新

ContourGT InMotion采用Wyko®數(shù)十年干涉技術創(chuàng)新的結晶,，為您提供***的光學形貌測量功能和****的可靠性,。強大的驅動電路和簡潔的桌面式平臺結構實現(xiàn)了**的操作穩(wěn)定性。

具有**技術的頻閃照明系統(tǒng)能夠實時捕獲并測量樣品運動周期內(nèi)的動態(tài)變化,，測量頻率范圍從11Hz到2.4MHz,。*終的測量結果是樣品三維運動的慢鏡頭視頻。

此外,，您還可以選擇獲得R&D 100大獎的Through Transmissive Media (TTM)模塊,。此模塊能夠透過樣品表面的保護層、氣氛腔及其他色散材料（厚度<3mm）,，準確的測量樣品的三維形貌,。

專為MEMS設計的軟件

ContourGT InMotion采用Bruker廣受贊譽的Vision數(shù)據(jù)采集/分析軟件，使系統(tǒng)的操作和數(shù)據(jù)的分析非常簡便,、直觀和靈活,。基于模板自動匹配的SureVision軟件能夠幫助用戶可靠的定位特征形貌并測量面內(nèi)和面外的形貌變化,。

定制分析軟件能夠迅速便捷的采集并表征特征頻率,、形狀/形變、位移,、表面粗糙度,、臺階高度、關鍵尺寸,、其他形貌特征以及用戶自定義的測量參數(shù),，具有****的精度和準確性。