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臥式化學(xué)氣相沉積爐（SiC,、BN）品牌
頂立科技產(chǎn)地
湖南樣本
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其他金屬電熱元件：
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采用先進(jìn)的控制技術(shù)，能精密控制MTS的流量和壓力,，爐膛內(nèi)沉積氣流穩(wěn)定,，壓力波動(dòng)范圍小,；
全密閉沉積室,，密封效果好，抗污染能力強(qiáng),；
多通道工藝氣路,，流場(chǎng)均勻，無(wú)沉積死角,，沉積效果好,；
多級(jí)高效尾氣處理系統(tǒng)，能有效處理高腐蝕性尾氣,、易燃易爆氣體,、固體粉塵及低熔點(diǎn)粘性產(chǎn)物，環(huán)境友好,；
可選配新設(shè)計(jì)的防腐蝕真空機(jī)組,，持續(xù)工作時(shí)間長(zhǎng)，維修率極低,；
使用工藝氣氛：真空/CH4/H2/N2/Ar/BCI3/NH3/MTS,。
| 參數(shù)\型號(hào) | HCVD-060609-SIC | HCVD-101015-SIC | VCVD-121220-SIC | HCVD-151530-SIC | HCVD-252035-SIC |
| 工作區(qū)尺寸W×H×L（mm） | 600×600×900 | 1000×1000×1500 | 1200×1200×2000 | 1500×1500×3000 | 2500×2000×3500 |
| **溫度（℃） | 1500 | 1500 | 1500 | 1500 | 1500 |
| 溫度均勻性（℃） | ±7.5 | ±7.5 | ±10 | ±10 | ±10 |
| 極限真空度（Pa） | 1-100 | 1-100 | 1-100 | 1-100 | 1-100 |
| 壓升率（Pa/h） | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 |
| 加熱方式 | 電阻 | 電阻 | 電阻 | 電阻 | 電阻 |
以上參數(shù)可根據(jù)工藝要求進(jìn)行調(diào)整,，不作為驗(yàn)收依據(jù),，具體以技術(shù)方案和協(xié)議為準(zhǔn),。
結(jié)構(gòu)形式：臥式-單開門/雙開門,；立式-上出料/下出料
爐門鎖緊方式：手動(dòng)/自動(dòng)
爐殼材質(zhì)：內(nèi)層不銹鋼/全不銹鋼
保溫材質(zhì)：碳?xì)?石墨氈/碳纖維固化氈/陶瓷纖維氈
加熱器,、馬弗材質(zhì)：石墨/CFC/金屬
熱電偶：K/N/C/S分度號(hào)
真空泵：機(jī)械泵組/耐腐蝕泵組
暫無(wú)數(shù)據(jù)！
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