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面議型號(hào)
MADlink 100品牌
真理光學(xué)產(chǎn)地
珠海樣本
暫無(wú)誤差率:
分辨率:
重現(xiàn)性:
優(yōu)于±1%儀器原理:
光透沉降分散方式:
測(cè)量時(shí)間:
< 1min測(cè)量范圍:
0.3 ~ 100 μm看了MADlink 100微孔徑快速測(cè)量?jī)x的用戶(hù)又看了
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本產(chǎn)品是一款專(zhuān)門(mén)應(yīng)用于快速測(cè)量薄片上的微孔直徑的光學(xué)儀器,,有效解決了傳統(tǒng)方法光學(xué)采用顯微圖像處理技術(shù)和電子顯微鏡都無(wú)法實(shí)現(xiàn)對(duì)薄片微孔孔徑全檢的技術(shù)難題。其特點(diǎn)是對(duì)薄片全域范圍(**面積 5.0 x 4.5mm)的所有微孔只需一次抓拍,,即可輸出薄片上全部微孔的孔徑特征,、孔徑分布和微孔位置分布圖。
圖1:微孔片樣品圖
薄片微孔徑是指在平板薄片上的尺寸達(dá)微米甚至亞微米大小的小孔的直徑,。
普通的光學(xué)顯微鏡受到光學(xué)衍射現(xiàn)象的限制,,**分辨力只能達(dá)到0.5μm左右,因此用普通的光學(xué)顯微鏡測(cè)量1μm左右的微孔,,誤差顯然過(guò)大,;況且此時(shí)只能用40倍或以上的顯微物鏡,,視場(chǎng)大小只能達(dá)到0.2 mm或者更小。對(duì)于制作在薄片上,、位置分布范圍達(dá)數(shù)毫米的微孔片,,不可能做到全域一次抓拍。即便通過(guò)分區(qū)掃描測(cè)量也許耗費(fèi)大量時(shí)間,,且難免出現(xiàn)漏檢問(wèn)題,。如果使用低倍顯微物鏡做全域拍攝測(cè)量,例如 2倍,,則由于低倍物鏡的數(shù)值孔徑很?。? 倍物鏡的數(shù)值孔徑只有0.06),孔徑限制造成的衍射光斑(愛(ài)里斑 )直徑可達(dá)到10μm左右,,用這樣的鏡頭觀察數(shù)十微米量級(jí)的微孔,,會(huì)產(chǎn)生顯著的模糊,而對(duì)1μm量級(jí)的微孔,,普通的光學(xué)顯微鏡的圖像已經(jīng)完全不能反映孔的大小,。所以,基于光學(xué)顯微放大和數(shù)字圖像處理技術(shù)的測(cè)量系統(tǒng)難以完成這類(lèi)微孔徑的全域快速測(cè)量,。電子顯微鏡雖然具有更好的景深和分辨能力,,但單次測(cè)量視場(chǎng)更小,使用成本也十分高昂,,不太適合廣泛應(yīng)用在薄片微孔徑的快速測(cè)量,。
圖2:工作原理圖
本儀器采用真理光學(xué)團(tuán)隊(duì)首創(chuàng)研發(fā)的光通量微孔徑測(cè)量法(**申請(qǐng)?zhí)枺篊N202110766064.2),利用透過(guò)微孔的光通量與孔面積成正比的關(guān)系,,如下圖示,本有效規(guī)避了光學(xué)顯微成像方法中的(成像透鏡)光學(xué)衍射對(duì)微孔徑尺寸測(cè)量準(zhǔn)確度的制約,。
圖3:光通量--孔徑曲線(xiàn)關(guān)系圖
根據(jù)圖像傳感器檢測(cè)得每個(gè)孔的光通量值計(jì)算微孔孔徑,,同時(shí)對(duì)微孔本身的光學(xué)衍射造成的光能損失進(jìn)行修正,從而實(shí)現(xiàn)微孔直徑的全域一次抓拍即可快速完成對(duì)區(qū)域內(nèi)全部微孔孔徑的測(cè)量,,*后輸出微孔徑分布曲線(xiàn)和空間位置分布圖,。
有效解決了傳統(tǒng)方法光學(xué)采用顯微圖像處理技術(shù)和電子顯微鏡都無(wú)法實(shí)現(xiàn)對(duì)薄片微孔孔徑全檢的技術(shù)難題。
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