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內外腔型百克級粉體分子層沉積系統
技術參數 ：
1樣品**裝載量：100g(可根據需求定制), 也可放置3D基體及多片平片
2樣品反應溫度：RT-300oC
3前驅體：**可包括2組反應氣體8組液態(tài)或固態(tài)反應前驅體,
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