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內外腔型百克級粉體分子層沉積系統(tǒng)
技術參數(shù) :
1樣品**裝載量:100g(可根據(jù)需求定制), 也可放置3D基體及多片平片
2樣品反應溫度:RT-300oC
3前驅體:**可包括2組反應氣體8組液態(tài)或固態(tài)反應前驅體,
廈門韞茂科技有限公司憑借在先進材料設備業(yè)務方面多年的經(jīng)驗,韞茂為新型芯片,,半導體和鋰電池領域的新材料開發(fā)和生產(chǎn),,提供***的納米工藝設備和服務解決方案。根據(jù)您的特殊需求,,我們?yōu)槟ㄖ拼蛟靹?chuàng)新納米加工平臺,,保證高品質的設計,多功能,,易于使用的界面,,嚴格的安全控制,以及快速的交付和服務,。