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全自動(dòng)四腔超高真空雙傾角鍍膜系統(tǒng) QBT-J
約瑟夫森結(jié)超高壓系統(tǒng)
技術(shù)參數(shù)
| QBT-J 技術(shù)參數(shù) Technical Specifications (雙傾角約瑟夫森結(jié)制備） | |
| 超高真空腔體 UHV Chamber | 4個(gè)UHV Chamber,包括Loadlock/Aneal, Ion Milling, Ebeam-Evaporation, Oxidation, 極限真空Ultimate Pressure<1E-9Torr |
| 基板加熱 Wafer Heating | RT-900℃ |
| 離子束清洗 Ion Milling | 考夫曼離子源, Ion Energy 100-600eV, 100-1200eV, Ion Beam Current:20-200mA, Ф100基板刻蝕均一性<3% |
| 電子束蒸發(fā) Ebeam Evaporation | UHV 5 Linear Pocket Ebeam Evaporation Source, 8KW Power Supply |
| 氧化 Oxidation | Flow and Static Mode Oxidation |
| 基板操控能力 Wafer Tilt and Rotation | 可實(shí)現(xiàn)180度傾斜及360度旋轉(zhuǎn),，0.1度的精準(zhǔn)控制 |
| 基板傳輸 Wafer Transfer | 高度可靠和可重復(fù)的基板傳輸能力 |
| 人機(jī)界面 HMI | 全自動(dòng)化人機(jī)操作界面 |
| 安全Safety | 工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)安全互鎖Industry Safety Interlock,，報(bào)警Alarm，EMO |
約瑟夫森結(jié)超高壓系統(tǒng)：超高真空設(shè)計(jì),，真空互聯(lián)傳輸平臺(tái),，專(zhuān)為量子計(jì)算、超導(dǎo)應(yīng)用而生,。
雙傾角約瑟夫森結(jié)制備系統(tǒng)的工作原理介紹,？雙傾角約瑟夫森結(jié)制備系統(tǒng)的使用方法,？雙傾角約瑟夫森結(jié)制備系統(tǒng)多少錢(qián)一臺(tái)？雙傾角約瑟夫森結(jié)制備系統(tǒng)使用的注意事項(xiàng)雙傾角約瑟夫森結(jié)制備系統(tǒng)的說(shuō)明書(shū)有嗎,？雙傾角約瑟夫森結(jié)制備系統(tǒng)的操作規(guī)程有嗎,？雙傾角約瑟夫森結(jié)制備系統(tǒng)的報(bào)價(jià)含票含運(yùn)費(fèi)嗎？雙傾角約瑟夫森結(jié)制備系統(tǒng)有現(xiàn)貨嗎,？雙傾角約瑟夫森結(jié)制備系統(tǒng)包安裝嗎,？
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