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真空式等離子處理系統(tǒng)CRF-VPO-2L-S

名稱（Name）

真空式等離子處理系統(tǒng)

型號（Model）

CRF-VPO-2L-S

控制系統(tǒng)（Control system）

PLC+觸摸屏

電源（Power supply）

380V/AC,50/60Hz, 3kw

中頻電源功率（RF Power）

1000W/40KHz

容量（Volume ）

10L(Option)

層數(shù)（Electrode of plies ）

2(Option)

腔體規(guī)格（Area）

220(W)*230(D)*230(H)

氣體通道（Gas）

兩路工作氣體可選：Ar,、N2、CF4,、O2

產(chǎn)品概述

設備參數(shù)

產(chǎn)品特點

超大處理空間,，提升處理產(chǎn)能，采用PLC+觸摸屏控制系統(tǒng),，精準的控制設備運行,；

可按照客戶要求定制設備腔體容量和層數(shù)，滿足客戶的需求,；保養(yǎng)維修成本低,，便于客戶成本控制；

高精度,，快響應,，良好的操控性和兼容性,，完善的功能和專業(yè)的技術(shù)支持。

應用范圍

真空等離子清洗機適用于印制線路板行業(yè),，半導體IC領(lǐng)域,、硅膠、塑膠,、聚合體領(lǐng)域,，汽車電子行業(yè),航空工業(yè)等。印制線路板行業(yè)：高頻板表面活化,，多層板表面清潔,、去鉆污,、軟板,、軟硬結(jié)合板表面清潔、去鉆污,，軟板補強前活化,。半導體IC領(lǐng)域：COB、COG,、COF,、ACF工藝，用于打線,、焊接前的清洗,；硅膠、塑膠,、聚合體領(lǐng)域硅膠,、塑膠、聚合體的表面粗化,、刻蝕,、活化。

等離子體為何在當代這么受歡迎呢

21世紀以來,，隨著科學技術(shù)和現(xiàn)代工業(yè)的快速發(fā)展,，為滿足各行業(yè)發(fā)展需求，各種功能的新材料層出不窮,。與此同時,，這也促使了各種表面改性技術(shù)的發(fā)展與進步。

等離子體表面改性是指將材料暴露在非聚合氣等離子體中,，通過等離子體轟擊材料表面,，使材料表面結(jié)構(gòu)發(fā)生變化，從而實現(xiàn)活化改性,。一般而言,，功能層的表面改性非常薄(幾納米至數(shù)百納米),，不會影響材料的整體性能；經(jīng)過改性后,，材料表面可具有親水性,、抗磨性、裝飾性,、著色性,、印花性、粘接性,、抗靜電性等功能,。

現(xiàn)等離子體技術(shù)用于纖維表面的改性也受到廣泛的注意。等離子體處理碳纖維表面即能改善粘接性,，又能保證纖維拉伸強度不下降,。此外，等離子體處理還能消除碳纖維的表面微裂紋,，減少應力集中,，提高纖維本身的拉伸強度。等離子體處理Kevlar纖維,、芳綸纖維同樣效果顯著,。PET纖維應用廣泛，但染色性,、吸濕性,、抗污性能差，經(jīng)等離子體處理后,，表面引入極性基團,，產(chǎn)生自由基、交聯(lián)層,，有效改善各種性能,。

電子元器件、汽車零部件等工業(yè)元件在生產(chǎn)過程中由于交叉污染,、自然氧化,、焊劑等，表面會形成各種污物,，這些污染物會影響元件在后續(xù)生產(chǎn)中的焊接,、粘接等相關(guān)工藝質(zhì)量，降低成品可靠性和合格率,。等離子體處理通過化學或物理作用對工件表面進行處理,，反應氣體電離產(chǎn)生高活性反應離子，與表面污染物發(fā)生化學反應進行清潔,。需要根據(jù)污染物的化學成分對反應氣體進行選擇,。以化學反應為主的等離子體清洗速度快,，選擇性好，對有機污染物清洗效果較好,。表面反應以物理作用為主的等離子體清洗很常用的是采用氬氣,，不會產(chǎn)生氧化副產(chǎn)物，刻蝕作用各向異性,。一般情況下等離子體表面改性過程中,，化學反應和物理作用是共同存在的，從而得到較好的選擇性,、均勻性和方向性,。

由于工業(yè)領(lǐng)域精密化、微小化的發(fā)展方向,，等離子體表面改性技術(shù)以其精細清潔,、無損改性的優(yōu)勢在半導體行業(yè)、芯片產(chǎn)業(yè),、航空航天等高新技術(shù)行業(yè)也會有越來越重要的應用價值,。