能耗：
380V/AC,50/60Hz,12.5kw處理量：
不限物料類型：
其它工作原理：
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開關電源等離子處理設備：誠峰智造
真空式等離子處理系統(tǒng)CRF-VPO-MC-6L
名稱（Name）
真空式等離子處理系統(tǒng)
型號（Model）
CRF-VPO-MC-6L
控制系統(tǒng)（Control system）
PLC+觸摸屏
電源（Power supply）
380V/AC,50/60Hz,12.5kw
中頻電源功率（MF Power）
2000W/40kHz
容量（Volume）
235L（Option）
層數(shù)（Electrode of plies）
6（Option）
有效處理面積（Area）
500（L）*500（W）（Option）
氣體通道（Gas）
兩路工作氣體可選： Ar、N2,、CF4,、O2
產品特點：處理空間大，提升處理產能,，采用PLC+觸摸屏控制系統(tǒng)，有效控制設備運行,。
可按照客戶要求定制設備腔體容量和層數(shù),，滿足客戶的需求,。
保養(yǎng)維修成本低，便于客戶成本控制,。
高精度,，快響應，良好的操控性和兼容性,，完善的功能和專業(yè)的技術支持,。
應用范圍：主要適用于生物醫(yī)療行業(yè)，印制線路板行業(yè),，半導體IC領域,，硅膠、塑膠,、聚合體領域,，汽車電子行業(yè)，航空工業(yè)等,。
半導體真空電漿清洗機是一種先進的高科技設備,，是利用等離子體進行清洗活化改性蝕刻，提高附著力等作用的設備,，在使用時,，一定要按照說明書的要求進行操作，其中有些使用方法都有哪些知識也需要了解,，今天就給大家具體介紹一下,。
在半導體真空電漿清洗機抽真空作業(yè)時，一定要使三通閥指向閉合狀態(tài),，也就是說,，讓箭頭向下，然后打開真空泵的電源,，看看真空泵的旋轉方向是順時針還是逆時針,，如果是順時針，則正常,，在檢測完畢后,，再將電源關閉。
在啟動真空泵前,，確保真空電漿清洗機與真空泵連接,，此時等離子處于閉合狀態(tài)，啟動后等離子艙將產生發(fā)光,。
在抽氣時,，要將三通閥打開，使之與室內空氣相通，然后在將針形閥打開時,，注意要輕柔地打開,，讓空氣慢慢進入真空電漿清洗機機艙內，形成等離子體,，然后再將前部的控制面板的電源打開,。
在進行等離子體處理時，要根據(jù)所需時間處理好樣品,，處理完成后,，在RF中關閉，清洗完畢,。
用半導體真空電漿清洗機時,，可參照以上內容進行，只有操作正確,，才不會發(fā)生故障,，另外，在切斷電源后,，還要檢查等離子清洗機后電源邊緣保險箱內的保險管是否正常,，有無燒斷的痕跡，如果有損壞,，一定要更換新的匹配的保險管,。
暫無數(shù)據(jù)！
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