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開關(guān)電源等離子處理設(shè)備：誠峰智造

真空式等離子處理系統(tǒng)CRF-VPO-MC-6L

名稱（Name）

真空式等離子處理系統(tǒng)

型號（Model）

CRF-VPO-MC-6L

控制系統(tǒng)（Control system）

PLC+觸摸屏

電源（Power supply）

380V/AC,50/60Hz,12.5kw

中頻電源功率（MF Power）

2000W/40kHz

容量（Volume）

235L（Option）

層數(shù)（Electrode of plies）

6（Option）

有效處理面積（Area）

500（L）*500（W）（Option）

氣體通道（Gas）

兩路工作氣體可選： Ar,、N2,、CF4、O2

產(chǎn)品特點(diǎn)：處理空間大,，提升處理產(chǎn)能,，采用PLC+觸摸屏控制系統(tǒng)，有效控制設(shè)備運(yùn)行,。

可按照客戶要求定制設(shè)備腔體容量和層數(shù),，滿足客戶的需求。

保養(yǎng)維修成本低,，便于客戶成本控制,。

高精度，快響應(yīng),，良好的操控性和兼容性,，完善的功能和專業(yè)的技術(shù)支持。

應(yīng)用范圍：主要適用于生物醫(yī)療行業(yè),，印制線路板行業(yè),，半導(dǎo)體IC領(lǐng)域，硅膠,、塑膠,、聚合體領(lǐng)域，汽車電子行業(yè)，航空工業(yè)等,。

半導(dǎo)體真空電漿清洗機(jī)是一種先進(jìn)的高科技設(shè)備,，是利用等離子體進(jìn)行清洗活化改性蝕刻，提高附著力等作用的設(shè)備,，在使用時(shí),，一定要按照說明書的要求進(jìn)行操作，其中有些使用方法都有哪些知識也需要了解,，今天就給大家具體介紹一下,。

在半導(dǎo)體真空電漿清洗機(jī)抽真空作業(yè)時(shí)，一定要使三通閥指向閉合狀態(tài),，也就是說,，讓箭頭向下，然后打開真空泵的電源,，看看真空泵的旋轉(zhuǎn)方向是順時(shí)針還是逆時(shí)針,，如果是順時(shí)針，則正常,，在檢測完畢后,，再將電源關(guān)閉。

在啟動真空泵前,，確保真空電漿清洗機(jī)與真空泵連接,，此時(shí)等離子處于閉合狀態(tài)，啟動后等離子艙將產(chǎn)生發(fā)光,。

在抽氣時(shí),，要將三通閥打開，使之與室內(nèi)空氣相通,，然后在將針形閥打開時(shí),，注意要輕柔地打開，讓空氣慢慢進(jìn)入真空電漿清洗機(jī)機(jī)艙內(nèi),，形成等離子體,，然后再將前部的控制面板的電源打開。

在進(jìn)行等離子體處理時(shí),，要根據(jù)所需時(shí)間處理好樣品,，處理完成后，在RF中關(guān)閉,，清洗完畢,。

用半導(dǎo)體真空電漿清洗機(jī)時(shí)，可參照以上內(nèi)容進(jìn)行,，只有操作正確,，才不會發(fā)生故障,，另外，在切斷電源后,，還要檢查等離子清洗機(jī)后電源邊緣保險(xiǎn)箱內(nèi)的保險(xiǎn)管是否正常,，有無燒斷的痕跡，如果有損壞,，一定要更換新的匹配的保險(xiǎn)管,。