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主要技術(shù)指標(biāo)

◆X射線管：銅靶,，陽極接地，強(qiáng)制風(fēng)冷

◆管電流：0～4mA,，連續(xù)可調(diào)

◆管電壓：30KVP

◆整機(jī)功率：不大于2KW

◆控制方式：計(jì)算機(jī)

◆射線窗口控制：電動(dòng)光閘

◆測(cè)量精度：±15″

◆射線管和探測(cè)器運(yùn)動(dòng)方式：計(jì)算機(jī)控制聯(lián)動(dòng)或單動(dòng)

◆探測(cè)器電壓：閃爍探測(cè)器500V～1100V

◆可測(cè)晶棒重量：20Kg

◆可測(cè)晶棒,、晶片直徑：2～8英寸

◆可測(cè)**長(zhǎng)度：400mm

◆整機(jī)外形尺寸：1020×950×1900(mm)

◆重量：350Kg