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西安博爾新材料：致力于半導(dǎo)體制造用高純超細(xì)立方SiC微粉

博爾 2023-05-13 | 閱讀：2769

碳化硅(SiC),、氮化鎵(GaN)作為關(guān)鍵材料也開始廣為人知,，但大多數(shù)人并不知道的是，最常見并廣泛用于耐火,、超硬磨料,、先進(jìn)陶瓷等行業(yè)的其實(shí)是α相碳化硅，而它與真正用于半導(dǎo)體的低溫穩(wěn)定β相碳化硅相去甚遠(yuǎn),。

β-SiC,，屬立方晶系(金剛石晶型)，也就是立方碳化硅,。它除了在第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)中用于制備碳化硅晶圓,，還由于具備很高的化學(xué)穩(wěn)定性、高硬度,、高熱導(dǎo)率,、低熱脹系數(shù)、寬能帶隙,、高電子漂移速度,、高電子遷移率、特殊的電阻溫度特性等,，也被廣泛應(yīng)用于精密加工技術(shù),、軍工、航空航天,、高級(jí)耐火材料,、特種陶瓷材料、高級(jí)磨削材料和增強(qiáng)材料等領(lǐng)域,，因此相比α-SiC的應(yīng)用范圍和應(yīng)用能力大很多,，比如在拋光研磨領(lǐng)域的應(yīng)用，β-SiC銳利的棱角可以提升拋光效率;在高端特種陶瓷的制備領(lǐng)域,，添加β-SiC可以提升陶瓷的燒結(jié)活性,。

立方碳化硅新材料由西安博爾新材料有限責(zé)任公司(下稱博爾新材料)聯(lián)合西安科技大學(xué)、陜西省硅鎂碳微納米材料工程技術(shù)研究中心,，歷經(jīng)26年時(shí)間,，成功研發(fā)并生產(chǎn),。目前國(guó)內(nèi)市場(chǎng)占有率95%以上，國(guó)際市場(chǎng)占有率50%以上,，全球僅有日本,、德國(guó)和美國(guó)的4家公司可小批量生產(chǎn)，因產(chǎn)品稀缺性和高技術(shù)壁壘以及保密性,，市場(chǎng)投放量很小,，這更吸引了美國(guó)、韓國(guó)等國(guó)家客戶紛至沓來(lái),。

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立方SiC微粉

這款產(chǎn)品純度高,、自然堆積密度高、粒度分布窄,，基本粒含量在60～80%,，用于精磨拋光、制造高級(jí)油石,、精細(xì)研磨/拋光液,，替代金剛石、B4C,、AlN,、CBN等。

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立方SiC晶須

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半導(dǎo)體制造用高純超細(xì)立方SiC微粉

這款產(chǎn)品由高純度(99.99%~99.9999%),、精細(xì)(0~0.1μm)微粉和粒度為50~800μm的單晶β-SiC做母源,，經(jīng)氣相沉積法可制造各種單晶碳化硅，其優(yōu)異的導(dǎo)電,、導(dǎo)熱,、耐磨、耐高溫,、耐腐蝕性使其在軍工,、航天、航空,、電子行業(yè)等高尖端領(lǐng)域用來(lái)替代電子級(jí)單晶硅和多晶硅,，成為當(dāng)前高科技領(lǐng)域公認(rèn)的第三代半導(dǎo)體材料和LED等應(yīng)用的電子封裝、基板材料,。

截至目前,，公司在西安國(guó)家航空高技術(shù)產(chǎn)業(yè)基地已建成年產(chǎn)500T生產(chǎn)能力的產(chǎn)業(yè)化示范生產(chǎn)線,，生產(chǎn)技術(shù)國(guó)內(nèi)首創(chuàng),、國(guó)際領(lǐng)先、成熟可靠,。三年多來(lái),，公司已向國(guó)內(nèi)外先進(jìn)制造領(lǐng)域提供細(xì)分市場(chǎng)產(chǎn)品八大類約200個(gè)品種,，尤以半導(dǎo)體芯片基材和超精細(xì)磨料磨具材料的巨大應(yīng)用潛力在國(guó)內(nèi)國(guó)際產(chǎn)生了很大影響。

西安博爾新材料有限責(zé)任公司是一家專門從事高品質(zhì)碳化硅(SiC)微粉和晶須及其下游制品等研發(fā),、生產(chǎn),、銷售的國(guó)家級(jí)高新技術(shù)企業(yè)，自主發(fā)明實(shí)現(xiàn)工業(yè)化生產(chǎn)立方碳化硅(β-SiC)微粉和晶須的專業(yè)企業(yè),?？偼顿Y1.86億元，生產(chǎn)的立方碳化硅(β-SiC)等產(chǎn)品質(zhì)量達(dá)到先進(jìn)水平,，其中主營(yíng)產(chǎn)品立方碳化硅經(jīng)陜西省工信廳及國(guó)家工信部批準(zhǔn)被納入重點(diǎn)新材料,，公司的SiC微粉在精細(xì)分級(jí)和表面改性處理等方面也都處于國(guó)內(nèi)先進(jìn)水平。

參考資料:企業(yè)官網(wǎng)