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ST2263型雙電測數(shù)字式四探針測試儀

二、概述

     ST2263型雙電測數(shù)字式四探針測試儀是運用直線或方形四探針雙位測-改進形范德堡測量方法測試電阻率/方阻的多用途綜合測量儀器,。該儀器設(shè)計符合單晶硅物理測試方法國家標準并參考美國 A.S.T.M 標準,。利用電流探針,、電壓探針的變換，進行兩次電測量,，對數(shù)據(jù)進行雙電測分析,，自動消除樣品幾何尺寸、邊界效應(yīng)以及探針不等距和機械游移等因素對測量結(jié)果的影響,，它與單電測直線或方形四探針相比,，大大提高正確度，特別是適用于斜置式四探針對于微區(qū)的測試,。

     儀器成套組成：由主機,、選配的四探針探頭、測試臺以及PC軟件等部分組成,。

     主機主要由精密恒流源,、高分辨率ADC、嵌入式單片機系統(tǒng)組成,，USB通訊接口,。儀器主機所有參數(shù)設(shè)定、功能轉(zhuǎn)換全部采用數(shù)字化鍵盤和數(shù)碼開關(guān)輸入,；具有零位,、滿度自校功能,；測試功能可自動/手動方式；儀器操作可由配套軟件在PC機上操作完成,，也可脫PC機由四探針儀器面板上獨立操作完成,。測試結(jié)果數(shù)據(jù)由主機數(shù)碼管直接顯示，也可連機由軟件界面同步顯示,、分析,、保存和打印,！

     探頭選配：根據(jù)不同材料特性需要,，探頭可有多款選配。有高耐磨碳化鎢探針探頭,，以測試硅類半導(dǎo)體,、金屬、導(dǎo)電塑料類等硬質(zhì)材料的電阻率/方阻,；也有球形鍍金銅合金探針探頭,，可測柔性材料導(dǎo)電薄膜、金屬涂層或薄膜,、陶瓷或玻璃等基底上導(dǎo)電膜（ITO膜）或納米涂層等半導(dǎo)體材料的電阻率/方阻,。換上四端子測試夾具，還可對電阻器體電阻,、金屬導(dǎo)體的低,、中值電阻以及開關(guān)類接觸電阻進行測量。

     測試臺選配：一般四探針法測試電阻率/方阻配SZT-A或SZT-B或SZT-C或SZT-F型測試臺,。

     儀器具有測量精度高,、靈敏度高、穩(wěn)定性好,、智能化程度高,、測量簡便、結(jié)構(gòu)緊湊,、使用方便等特點,。

     儀器適用于半導(dǎo)體材料廠器件廠、科研單位,、高等院校對導(dǎo)體,、半導(dǎo)體、類半導(dǎo)體材料的導(dǎo)電性能的測試,，特別是適用于斜置式四探針對于微區(qū)的測試,。

三、基本技術(shù)參數(shù)

3.1  測量范圍

    電阻率：1×10^-4～2×10⁵ Ω-cm,，分辨率：1×10^-5～1×10² Ω-cm

    方  阻：5×10^-4～2×10⁵ Ω/□,，分辨率：5×10^-5～1×10² Ω/□

    電  阻：1×10^-5～2×10⁵ Ω   ,，分辨率：1×10^-6～1×10² Ω

3.2  材料尺寸(由選配測試臺決定和測試方式?jīng)Q定)

    直    徑：SZT-A圓測試臺直接測試方式 Φ15～130mm，手持方式不限

    SZT-B/C/F方測試臺直接測試方式180mm×180mm,，手持方式不限.

    長(高)度：測試臺直接測試方式 H≤100mm,    手持方式不限.

    測量方位: 軸向,、徑向均可

3.3.  4-1/2 位數(shù)字電壓表：

    (1)量程： 20.00mV～2000mV

    (2)誤差：±0.1%讀數(shù)±2 字

3.4  數(shù)控恒流源

   (1)量程：0.1μA，1μA,，10μA,，100μA，1mA,，10mA，100mA,，1A

   (2)誤差：±0.1%讀數(shù)±2 字

3.5  四探針探頭（選配其一或加配全部）

   (1)碳化鎢探針：Φ0.5mm,，直線探針間距1.0mm，探針壓力: 0～2kg 可調(diào)

   (2)薄膜方阻探針：Φ0.7mm,，直線或方形探針間距2.0mm,，探針壓力: 0～0.6kg 可調(diào)

3.6 電源

   輸入: AC 220V±10% ,50Hz  功        耗：<20W

3.7 外形尺寸：

   主機  220mm（長）×245 mm（寬）×100mm（高）

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