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中科科儀北京總部大“變身”,，乘國(guó)產(chǎn)科學(xué)儀器發(fā)展東風(fēng)展現(xiàn)新?lián)?dāng)

kyky 2023-07-06 | 閱讀：575

中科科儀北京總部大“變身”

乘國(guó)產(chǎn)科學(xué)儀器發(fā)展東風(fēng)展現(xiàn)新?lián)?dāng)

在北京中關(guān)村,，有這樣一個(gè)歷經(jīng)時(shí)代變遷的科學(xué)儀器“老園區(qū)”——中科科儀北京總部所在地,。歷經(jīng)六十余年的發(fā)展,，她孕育了我國(guó)第一臺(tái)掃描電子顯微鏡,、第一臺(tái)渦輪分子泵等多項(xiàng)國(guó)內(nèi)首臺(tái)套科學(xué)儀器及核心零部件,，囊獲了多項(xiàng)國(guó)家和科學(xué)院重大科技成果獎(jiǎng),。

透過(guò)老照片，我們仿佛又看到了,，一代代科儀人為促進(jìn)我國(guó)科學(xué)儀器事業(yè)發(fā)展付出努力的身影,，他們?cè)谶@里抒寫著中國(guó)掃描電鏡的發(fā)展歷程，親歷著中國(guó)真空獲得技術(shù)的發(fā)展步伐,，更激勵(lì)著新一代科儀人攜手并肩,，為國(guó)產(chǎn)科學(xué)儀器裝備事業(yè)發(fā)展貢獻(xiàn)力量,。

中科科儀北京總部園區(qū)舊貌

拍攝于20世紀(jì)90年代

中科科儀北京總部園區(qū)舊貌

拍攝于2007年

園區(qū)樓宇新外觀以科學(xué)院紅為主色，契合著科儀六十余年的悠久歷史傳承和創(chuàng)新求發(fā)展的企業(yè)精神內(nèi)核,，為歷史悠久的建筑注入新的生機(jī)活力,，更代表了科儀人為國(guó)產(chǎn)科學(xué)儀器事業(yè)奮斗的滿腔熱情。

中科科儀北京總部園區(qū)新貌

今天,，當(dāng)我們?cè)俅未┬性谥嘘P(guān)村成府路上,，走到最西端，北京大學(xué)和清華大學(xué)兩座頂尖學(xué)府交匯處,，看到的是新時(shí)代國(guó)產(chǎn)科學(xué)儀器企業(yè)的新面貌,，期待的是國(guó)產(chǎn)科學(xué)儀器發(fā)展的新飛躍。

中科科儀總部園區(qū)對(duì)標(biāo)科學(xué)儀器創(chuàng)新園區(qū)發(fā)展新模式,，圍繞產(chǎn)業(yè)鏈和創(chuàng)新鏈發(fā)展,，成為電子光學(xué)類科學(xué)儀器及核心零部件創(chuàng)新策源地，推進(jìn)科學(xué)儀器裝備基地建設(shè),，逐步形成“龍頭企業(yè)＋孵化”的共贏共生局面,，打造科學(xué)儀器產(chǎn)業(yè)發(fā)展新生態(tài)。

科學(xué)儀器共享窗口——電鏡DEMO中心

技術(shù)創(chuàng)新基地——研發(fā)實(shí)驗(yàn)室

習(xí)近平總書記強(qiáng)調(diào)：“要打好科技儀器設(shè)備,、操作系統(tǒng)和基礎(chǔ)軟件國(guó)產(chǎn)化攻堅(jiān)戰(zhàn),，鼓勵(lì)科研機(jī)構(gòu)、高校同企業(yè)開(kāi)展聯(lián)合攻關(guān),，提升國(guó)產(chǎn)化替代水平和應(yīng)用規(guī)模,，爭(zhēng)取早日實(shí)現(xiàn)用我國(guó)自主的研究平臺(tái)、儀器設(shè)備來(lái)解決重大基礎(chǔ)研究問(wèn)題,?！?/p>

科技儀器研發(fā)水平是創(chuàng)新實(shí)力的體現(xiàn)，也在很大程度上決定著基礎(chǔ)研究和新技術(shù),、新產(chǎn)品開(kāi)發(fā)的廣度和深度,。從歷史上看，許多重大科學(xué)研究成果的突破,，通常以科學(xué)儀器和技術(shù)手段的創(chuàng)新為先導(dǎo),。

上個(gè)世紀(jì)五十年代，中科院為了給科研工作創(chuàng)造條件,，及時(shí)提供新的科學(xué)儀器裝備,，決定設(shè)置綜合性院屬工廠，正式成立中國(guó)科學(xué)院科學(xué)儀器廠（現(xiàn)在“北京中科科儀股份有限公司”前身,，后文提到的“中國(guó)科學(xué)院科學(xué)儀器廠”,、“北京科學(xué)儀器廠”、“科儀廠”,，均指為“中科科儀”）,。

中科科儀建廠初期的業(yè)務(wù)定位,，即為全院制造特殊精密機(jī)械設(shè)備，承擔(dān)電子學(xué)及光學(xué)儀器的制造和配套工作,，曾經(jīng)承擔(dān)了我國(guó)第一顆人造地球衛(wèi)星“東方紅一號(hào)”的本體加工與總裝工作,。原中顧委常委、國(guó)務(wù)委員,、中國(guó)科學(xué)院黨組書記張勁夫同志曾在兩彈一星回憶錄中評(píng)價(jià),，“我們科學(xué)院在北京建立了科學(xué)儀器廠，作為人造衛(wèi)星的總裝廠”,，“北京科學(xué)儀器廠……可以生產(chǎn)電子顯微鏡,、電子探針儀，許多相當(dāng)先進(jìn)的科學(xué)儀器我們都能夠自己生產(chǎn)出來(lái),，武裝我們各研究所,，還供應(yīng)國(guó)內(nèi)其他一些單位，水平很高,?！?/p>

可以說(shuō)，中科科儀誕生于國(guó)家需要之時(shí),，在當(dāng)時(shí)“一窮二白”的特殊歷史時(shí)期，為國(guó)家做出了許多重要的貢獻(xiàn),?；仡櫩苾x的發(fā)展歷程，正是科儀人為中國(guó)科學(xué)儀器事業(yè)發(fā)展的奮斗史,。

1975年,，中科科儀研制成功中國(guó)第一臺(tái)掃描電子顯微鏡，獲科學(xué)大會(huì)一等獎(jiǎng)和中國(guó)科學(xué)院重大科技成果獎(jiǎng)一等獎(jiǎng),，“科儀廠掃描電鏡組”獲頒國(guó)務(wù)院總理親筆題詞的榮譽(yù)證書,。

電子顯微鏡正是認(rèn)識(shí)亞微米以及納米尺度微觀世界的重要工具，已經(jīng)廣泛地應(yīng)用到了自然科學(xué)的許多分支學(xué)科之中,，并且極大推動(dòng)了這些學(xué)科的發(fā)展,。

1974年，中科院正式下達(dá)關(guān)于DX-3型掃描電子顯微鏡的試制任務(wù)至科儀廠,。抱著“要做自己的電子顯微鏡”的信念,，科儀廠于1975年研制成功我國(guó)首臺(tái)掃描電子顯微鏡，樣機(jī)通過(guò)了來(lái)自全國(guó)各地30多個(gè)單位,，60多名代表的鑒定測(cè)試,，分辨率優(yōu)于10nm，主要指標(biāo)達(dá)當(dāng)時(shí)國(guó)際先進(jìn)水平,。

中國(guó)第一臺(tái)掃描電子顯微鏡——DX-3型掃描電鏡

1978年,，中科科儀研制成功中國(guó)第一臺(tái)掃描式離子探針—LT-1型離子探針質(zhì)譜微分析儀,，獲中科院1978年度重大科技成果獎(jiǎng)、科學(xué)大會(huì)獎(jiǎng),。

離子探針質(zhì)譜微分析儀（簡(jiǎn)稱離子探針）,，是一種利用離子光學(xué)原理制成的大型精密科學(xué)儀器。它主要應(yīng)用于表面微區(qū)薄層分析,，是半導(dǎo)體集成電路,、固體物理、表面科學(xué),、材料科學(xué),、環(huán)境科學(xué)、地球和空間科學(xué)等領(lǐng)域常用的分析手段,。

離子探針起源于20世紀(jì)70年代,，當(dāng)時(shí)國(guó)際上多個(gè)國(guó)家在競(jìng)爭(zhēng)性研制，中國(guó)科學(xué)院科學(xué)儀器廠早在1978年就研制成功了LT-1型離子探針質(zhì)譜微分析儀,，主要技術(shù)指標(biāo)已達(dá)到了國(guó)外同類儀器水平,。

（胡肇恒. "LT-1型離子探針質(zhì)譜微分析儀." 物理 4(1978):233-239.）

中國(guó)第一臺(tái)掃描式離子探針

——LT-1型離子探針質(zhì)譜微分析儀

1979年，中科科儀研制成功我國(guó)第一臺(tái)高分辨本領(lǐng)有機(jī)分析用質(zhì)譜計(jì)算機(jī)聯(lián)用儀——ZHP-5質(zhì)譜計(jì),，獲中科院1980年度重大科技成果一等獎(jiǎng),。

有機(jī)分析質(zhì)譜儀是一種用于生物學(xué)領(lǐng)域的分析儀器，廣泛用于有機(jī)化學(xué),、生物學(xué),、地球化學(xué)、核工業(yè),、材料科學(xué),、環(huán)境科學(xué)、醫(yī)學(xué)衛(wèi)生,、食品化學(xué),、石油化工等領(lǐng)域以及空間技術(shù)等方面。

1979年,，中國(guó)科學(xué)院科學(xué)儀器廠最近試制成功了我國(guó)第一臺(tái)高分辨本領(lǐng)有機(jī)分析用質(zhì)譜計(jì)算機(jī)聯(lián)用儀——ZHP-5質(zhì)譜計(jì),。來(lái)自全國(guó)三十一個(gè)科研、生產(chǎn)和使用單位的四十名同行專家,，對(duì)這臺(tái)儀器的各項(xiàng)技術(shù)指標(biāo)進(jìn)行了實(shí)測(cè)和鑒定,。鑒定結(jié)果表明，該儀器的主要技術(shù)指標(biāo)均超過(guò)原技術(shù)設(shè)計(jì)任務(wù)書的規(guī)定,，進(jìn)入國(guó)外同類儀器的行列,。鑒定委員們認(rèn)為，這臺(tái)大型精密分析儀器的試制成功,，為我國(guó)的高分辨有機(jī)質(zhì)譜儀器填補(bǔ)了空白,，標(biāo)志著我國(guó)在質(zhì)譜儀器制造上跨進(jìn)了一大步,。

（柯服. "ZHP-5高分辨有機(jī)質(zhì)譜計(jì)試制成功." 質(zhì)譜 (1981).）

中國(guó)第一臺(tái)高分辨本領(lǐng)有機(jī)分析用

質(zhì)譜計(jì)算機(jī)聯(lián)用儀——ZHP-5質(zhì)譜計(jì)

1983年，中科科儀研制成功中國(guó)第一臺(tái)場(chǎng)離子顯微鏡—原子探針,，獲中科院1986年度科學(xué)技術(shù)進(jìn)步獎(jiǎng)二等獎(jiǎng),。

場(chǎng)離子顯微鏡原子探針是研究金屬、半導(dǎo)體材料微結(jié)構(gòu)的一種大型精密分析儀器,，它能直接分辨樣品表面上的單個(gè)原子并鑒定其成分,。

1983年，在中國(guó)科學(xué)院沈陽(yáng)分院院長(zhǎng)郭可信教授領(lǐng)導(dǎo)下,中國(guó)科學(xué)院科學(xué)儀器廠研制成功中國(guó)第一臺(tái)場(chǎng)離子顯微鏡—原子探針,，主要指標(biāo)達(dá)到國(guó)際同類儀器的較好水平,，填補(bǔ)了我國(guó)這一領(lǐng)域的空白，將我國(guó)金屬材料微結(jié)構(gòu)研究工作提高到原子級(jí)水平,。當(dāng)時(shí)共同參與研發(fā)任務(wù)的還有中科院金屬研究所,、沈陽(yáng)科儀廠。

（群力. "場(chǎng)離子顯微鏡原子探針在我國(guó)首次研制成功." 質(zhì)譜學(xué)報(bào) 04(1984):48-48.）

中國(guó)第一臺(tái)場(chǎng)離子顯微鏡—原子探針

六十余年的發(fā)展歷程中,，中科科儀始終面向國(guó)家重大需求,，走在國(guó)產(chǎn)科學(xué)儀器設(shè)備自主創(chuàng)新之路的最前沿。以一流電子光學(xué)和真空技術(shù)及多年科技成果轉(zhuǎn)化經(jīng)驗(yàn),，承擔(dān)多項(xiàng)國(guó)家重大科學(xué)儀器專項(xiàng),，研制出多項(xiàng)打破國(guó)外壟斷的首臺(tái)套科學(xué)儀器裝備與核心零部件，實(shí)現(xiàn)國(guó)內(nèi)領(lǐng)域多項(xiàng)零的突破,，為提高我國(guó)科學(xué)儀器設(shè)備的自主創(chuàng)新能力和自我裝備水平發(fā)揮了重要作用,。

2012年，中科科儀研制成功我國(guó)首臺(tái)磁懸浮分子泵

磁懸浮分子泵是尖端科學(xué)儀器和關(guān)鍵工藝核心部件,，是超高真空獲得設(shè)備，憑借持續(xù)高排氣能力,、免維護(hù),、潔凈無(wú)油等特點(diǎn)，可廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造,、科研儀器,、大科學(xué)裝置、國(guó)防科技和航空航天等領(lǐng)域,，為科研,、生產(chǎn)等環(huán)節(jié)提供必要的潔凈、超高真空環(huán)境,。

2012年,，中科科儀研制成功我國(guó)首臺(tái)磁懸浮分子泵，掌握完全知識(shí)產(chǎn)權(quán),，填補(bǔ)了國(guó)內(nèi)空白,，在多個(gè)半導(dǎo)體裝備頭部企業(yè)實(shí)現(xiàn)國(guó)產(chǎn)替代,，助力解決集成電路裝備核心零部件“卡脖子”問(wèn)題，為半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈自主可控做出了貢獻(xiàn),。

半導(dǎo)體專用磁懸浮分子泵

2014年,，中科科儀研制成功我國(guó)首臺(tái)場(chǎng)發(fā)射槍掃描電子顯微鏡

作為高端通用大型科學(xué)儀器，在納米量級(jí)觀測(cè)設(shè)備中,，掃描電子顯微鏡與納米科技,、分子生物學(xué)研究、半導(dǎo)體制造檢測(cè)技術(shù)等發(fā)展相互促進(jìn),，是我國(guó)35項(xiàng)“卡脖子”技術(shù)之一,。

2014年，中科科儀突破了多項(xiàng)技術(shù)壁壘,，研制成功國(guó)內(nèi)首創(chuàng),、具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的肖特基場(chǎng)發(fā)射槍掃描電子顯微鏡，分辨率優(yōu)于1.0nm,，達(dá)國(guó)際同類產(chǎn)品一流水平,，打破了國(guó)外的技術(shù)和市場(chǎng)壟斷，已廣泛應(yīng)用于材料,、物理,、化學(xué)、生命科學(xué)等領(lǐng)域,，開(kāi)展納米科技,、半導(dǎo)體技術(shù)等方面的研究。

KYKY-EM8100型場(chǎng)發(fā)射槍掃描電子顯微鏡

一代人有一代人的奮斗,，一個(gè)時(shí)代有一個(gè)時(shí)代的擔(dān)當(dāng),。未來(lái)，中科科儀將始終牢記“創(chuàng)新科學(xué)儀器,，發(fā)展一流企業(yè)”的初心使命,，以嶄新的面貌不斷強(qiáng)化核心技術(shù)攻關(guān)，解決高端儀器裝備的“卡脖子”和“空心化”問(wèn)題,，高質(zhì)量引領(lǐng)重大科學(xué)儀器攻關(guān)及產(chǎn)業(yè)化發(fā)展,，推動(dòng)國(guó)產(chǎn)科學(xué)儀器關(guān)鍵科學(xué)技術(shù)領(lǐng)域再創(chuàng)新突破。