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KYKY-EM6900掃描電鏡

產品特點：

◆分辨率高,成像質量更好

◆翻開式發(fā)叉結構鎢絲陰極,更換燈絲方便

◆純中文操作界面，具有一鍵成像功能

◆自動調整功能:電子槍加熱,、偏壓,、對中、聚焦,、亮度,、對比度、消像散,、像散記憶等

◆自動校正,、自動故障檢測

◆低維護、維修成本

性能指標：

1.       分辨率:   3nm@30KV （SE）,；  6nm@30KV （BSE）

2.       放大倍率:  8～300000 倍

3.       電子槍:  翻開式預對中鎢絲陰極

4.       加速電壓: 0～30kV連續(xù)可調,，0-10kV步進量為100V，10kV以上步進量為1kV

5.       具有一鍵看像功能

6.       透鏡系統(tǒng): 三級高性能錐形透鏡系統(tǒng)

7.       物鏡光闌：三個可在真空外調節(jié),，無需拆卸鏡筒即可更換物鏡光闌

8.       真空系統(tǒng)： 1個渦輪分子泵,，1個機械泵； 樣品室真空優(yōu)于2.6E-3 Pa ,，全自動真空控制,，具有真空互鎖功能。

9.       探測器標準配置：

（1）        高真空二次電子探測器,；

（2）        四分割半導體BSE探測器,；

（3）        紅外CCD攝像頭

10.    樣品室提供不少于2個可擴展接口，可接 WDS,、EDS,、BSE 等多種附件和探測器

11.    樣品臺配置

五軸樣品臺,，四軸自動：

行程： X=70mm,Y=50mm,Z=45mm，R=360°,，T=-5°～+90°（手動）

**樣品直徑: Ф175mm,；**樣品高度：35mm；樣品臺有碰撞報警功能,。

12.    圖像處理器

?  **4096×4096像素顯示

?  圖像文件格式：默認格式為BMP,，可另存為GIF、JPG,、PNG,、TIF等格式