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中科科儀攜半導(dǎo)體檢測設(shè)備及核心零部件國產(chǎn)化解決方案參展SEMICON China 2023

kyky 2023-06-30 | 閱讀：544

6月29日至7月1日,，國際半導(dǎo)體展（SEMICON China 2023）在上海新國際博覽中心隆重舉辦,。SEMICON China是全球規(guī)模最大、最具影響力的半導(dǎo)體行業(yè)盛會,，囊括了全球主要的半導(dǎo)體設(shè)備及材料廠商,。中科科儀作為中國尖端科學(xué)儀器和真空技術(shù)的引領(lǐng)者，在此次展會中展示了領(lǐng)先的電子光學(xué)與真空技術(shù),、半導(dǎo)體檢測設(shè)備與核心零部件產(chǎn)品及解決方案,。

在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)中，檢測設(shè)備及核心零部件扮演著至關(guān)重要的角色,，是實現(xiàn)半導(dǎo)體器件高精度制造和高可靠性的關(guān)鍵組成部分,。中科科儀作為國內(nèi)一家在掃描電子顯微鏡領(lǐng)域持續(xù)耕耘50余年的企業(yè)，成功研制多款掃描電子顯微鏡并于近年來研制出國內(nèi)首臺場發(fā)射槍掃描電子顯微鏡,，打破國外技術(shù)壟斷,，解決了我國半導(dǎo)體等高端裝備制造領(lǐng)域檢測設(shè)備依賴進口的“卡脖子”問題,，在晶圓檢測、線寬測量,、半導(dǎo)體器件失效分析等方面有著廣泛應(yīng)用,。

真空環(huán)境是半導(dǎo)體生產(chǎn)過程的基本條件，半導(dǎo)體前道工藝中的刻蝕,、離子注入,、薄膜沉積等都需要在真空環(huán)境中進行，真空獲得產(chǎn)品是半導(dǎo)體裝備的核心零部件,。磁懸浮分子泵是技術(shù)水平最高的超高真空獲得產(chǎn)品,，中科科儀研制了國內(nèi)第一臺磁懸浮分子泵并形成了系列化產(chǎn)品,，其中半導(dǎo)體系列磁懸浮分子泵已通過多個頭部半導(dǎo)體裝備廠家的長期嚴苛工藝驗證,，實現(xiàn)了批量銷售。目前,，中科科儀在半導(dǎo)體領(lǐng)域積累了多年的產(chǎn)品應(yīng)用經(jīng)驗,，對半導(dǎo)體工藝要求有了深入的理解，可根據(jù)客戶需求進行定制化設(shè)計和生產(chǎn),，滿足進口產(chǎn)品國產(chǎn)化替代和國內(nèi)半導(dǎo)體裝備的使用要求,。

半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)是一個關(guān)鍵戰(zhàn)略性產(chǎn)業(yè)，其技術(shù)水平和發(fā)展規(guī)模已成為衡量一個國家產(chǎn)業(yè)競爭力和綜合國力的重要標志之一,。未來,，中科科儀將持續(xù)加大研發(fā)投入，深耕電子光學(xué)及真空技術(shù),，為客戶提供專業(yè)可靠的產(chǎn)品及服務(wù),，與產(chǎn)業(yè)鏈上下游企業(yè)一道共同推動和見證中國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的崛起！

展會還在繼續(xù),，歡迎您蒞臨SEMICON China 2023 中科科儀展位（E7館 E7146）,，與我們交流探討半導(dǎo)體檢測設(shè)備及核心零部件國產(chǎn)化解決方案，期待與您相約上海新國際博覽中心,！

關(guān)于中科科儀

北京中科科儀股份有限公司（簡稱中科科儀）,，前身為中國科學(xué)院科學(xué)儀器廠，始建于1958年,，是中國科學(xué)院首家事業(yè)單位整體轉(zhuǎn)改制企業(yè),。中科科儀是中國尖端科學(xué)儀器裝備及真空技術(shù)領(lǐng)軍企業(yè)，業(yè)務(wù)領(lǐng)域覆蓋掃描電子顯微鏡,、氦質(zhì)譜檢漏儀等科學(xué)儀器裝備和分子泵,、真空應(yīng)用設(shè)備等核心零部件及產(chǎn)業(yè)設(shè)備。70年代,，研制出我國第一臺掃描電子顯微鏡,、第一臺渦輪分子泵和第一臺商用氦質(zhì)譜檢漏儀,。近年來，成功研制出國內(nèi)首臺場發(fā)射槍掃描電子顯微鏡,、首臺磁懸浮分子泵,，均達到國際先進水平。2008年被評為國家級高新技術(shù)企業(yè),，2014年被評為國家級企業(yè)技術(shù)中心,，2021年獲評國家級“專精特新”小巨人企業(yè)稱號，2022年獲評國家級制造業(yè)“單項冠軍”示范企業(yè)稱號,。是中國通用機械工業(yè)協(xié)會副會長單位,，中國真空學(xué)會副理事長單位，集成電路零部件產(chǎn)業(yè)技術(shù)創(chuàng)新聯(lián)盟副理事長單位,，北京真空學(xué)會理事長單位,。

資料來源：企業(yè)公眾號