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半導(dǎo)體行業(yè)中硅和其他晶圓的接觸角測量用于評估清潔度、表面處理均勻性和光刻膠粘附性,。晶圓的直徑通常在4英寸至12英寸之間,。理想情況下，晶圓上的接觸角測量可以通過自動定位整個晶圓來完成,，而無需用戶干預(yù),。對于小晶圓，可以通過自動XYZ樣品臺和滴液器來實現(xiàn),，但當(dāng)晶圓直徑為12英寸時,，需要額外的旋轉(zhuǎn)軸來實現(xiàn)全自動定位。在這篇文章中,，詳細(xì)解釋了旋轉(zhuǎn)臺的使用,。

Theta Flow Wafer晶圓接觸角測量儀

Theta Flow Wafer晶圓接觸角測量儀是一款專為測量晶圓接觸角而設(shè)計的特殊儀器。它由Theta Flow光學(xué)接觸角測量儀主機(jī),、可配置四個可拋棄滴液頭的自動滴液器和帶自動旋轉(zhuǎn)的全自動XYZ樣品臺組成,。儀器中的四個滴液器允許使用幾種不同的測量液體進(jìn)行表面自由能測量，或者如果所有四個滴液器都用水,，則可以有更長的連續(xù)運行時間,。自動XYZ樣品臺與旋轉(zhuǎn)樣品臺一起使晶圓自動移動，以定位整個表面,。

晶圓的定位

晶圓樣品臺包括電動旋轉(zhuǎn)臺以及單獨的晶圓臺面,。晶圓臺面包括可移動的插銷，可以根據(jù)所用晶圓的尺寸進(jìn)行定位,。插銷將引導(dǎo)和確保晶圓的可重復(fù)定位,。此外，旋轉(zhuǎn)臺已經(jīng)配備真空連接口,，如果需要，可以增加額外的固定,。

自動晶圓定位—設(shè)置測量

要自動測量晶圓上不同位置的接觸角,，需要一些初始設(shè)置,。一旦設(shè)置好參數(shù)，就可以根據(jù)需要對更多的晶圓進(jìn)行相同的測量,。此外,，可以保存測試方法，這允許在不同批次晶圓之間使用相同的測量參數(shù),，確保測量的可重復(fù)性,。

自動晶圓定位—測量

設(shè)置好方法后，單擊開始按鈕即可開始測量,。軟件將把樣品移動到第一個測量位置,，滴出所需大小的液滴，將其放置在晶圓上,，并測量接觸角,。取接觸角的時間點在方法中設(shè)置。接觸角在拍攝點的晶圓圖像上實時顯示,。然后,，軟件將自動移動樣品臺到晶圓中的下一個位置。

Biolin Theta系列 晶圓接觸角測量儀

高端晶圓全自動接觸角測量儀器

支持晶圓接觸角測量的軟件功能

? 批量模式,，用于對一排多個晶圓進(jìn)行快速測量,。

? 標(biāo)準(zhǔn)座滴法，可進(jìn)行更深入的分析,。

（晶圓自動旋轉(zhuǎn)臺）

應(yīng)用

? 研究表面清潔度

接觸角測量可以評估晶圓的清潔度,，從而來評估表面污染物和殘留物的去除情況。

? 確定表面自由

能通過測量接觸角,，可以推斷出表面自由能,，這對于理解其他材料如何與晶圓相互作用至關(guān)重要。

? 了解粘附性能

接觸角有助于確定應(yīng)用于晶圓的涂層和薄膜的粘附性能,。

? 研究親水性/疏水性

測量接觸角可以確定晶圓表面是親水還是疏水,，從而影響光刻和蝕刻等工藝。

? 用于質(zhì)量控制

定期的接觸角測量可以作為質(zhì)量控制過程的一部分,，以確保晶圓加工和處理的一致性,。

瑞典百歐林科技有限公司

是一家專注于界面分析、薄膜制備與表征和分子間相互作用領(lǐng)域的先進(jìn)科研儀器生產(chǎn)商,，是該研究領(lǐng)域的開創(chuàng)者和領(lǐng)導(dǎo)者,。應(yīng)用領(lǐng)域涵蓋表界面、材料科學(xué),、生物科學(xué),、藥物開發(fā)與診斷等眾多研究領(lǐng)域。

大昌華嘉科學(xué)儀器作為百歐林中國區(qū)Attension系列產(chǎn)品總代理,，我們?yōu)榻佑|角及表面張力的用戶提供完善的售前,、售后服務(wù)及全面的技術(shù)和應(yīng)用支持,。