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大昌華嘉科學(xué)儀器部
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Theta Flow Wafer晶圓接觸角測量儀是一款高端的晶圓全自動接觸角測量儀器,。該儀器包括Theta Flow光學(xué)接觸角測量儀主機(jī),，可配置四個(gè)具有軟件控制,、可水平移動,、可拋棄滴液頭的自動滴液器,，以及帶自動旋轉(zhuǎn)的全自動XYZ樣品臺,。
晶圓上的接觸角測量對于評估這些材料的潤濕性和表面特性至關(guān)重要,，這些材料廣泛應(yīng)用于電子制造。通過評估液滴與晶片表面接觸的角度,，研究人員可以深入了解硅的表面能和粘附性能,。這些信息對于優(yōu)化半導(dǎo)體制造中的涂層、光刻和鍵合等工藝至關(guān)重要,。了解接觸角有助于確保晶片與生產(chǎn)過程中使用的各種材料之間的預(yù)期相互作用,，*終提高電子設(shè)備的性能和可靠性。
應(yīng)用
? 研究表面清潔度
接觸角測量可以評估晶圓的清潔度,，從而來評估表面污染物和殘留物的去除情況,。
? 確定表面自由能
通過測量接觸角，可以推斷出表面自由能,，這對于理解其他材料如何與晶圓相互作用至關(guān)重要,。
? 了解粘附性能
接觸角有助于確定應(yīng)用于晶圓的涂層和薄膜的粘附性能。
? 研究親水性/疏水性
測量接觸角可以確定晶圓表面是親水還是疏水,，從而影響光刻和蝕刻等工藝,。
? 用于質(zhì)量控制
定期的接觸角測量可以作為質(zhì)量控制過程的一部分，以確保晶圓加工和處理的一致性。
支持晶圓接觸角測量的軟件功能
? 批量模式,，用于對一排多個(gè)晶圓進(jìn)行快速測量,。
? 標(biāo)準(zhǔn)座滴法，可進(jìn)行更深入的分析,。
晶圓自動旋轉(zhuǎn)臺
Theta系列晶圓樣品臺是一種由軟件控制的電動平臺,，用于旋轉(zhuǎn)晶圓，以實(shí)現(xiàn)直徑高達(dá)12英寸晶圓的接觸角自動定位測量,。
Theta系列晶圓樣品臺包括旋轉(zhuǎn)臺（T340R）和晶圓臺面（T340RW）,。晶圓臺面的插銷有助于晶圓的高精度對準(zhǔn)和定位。定位銷還有助于在測量過程中將晶圓保持在適當(dāng)?shù)奈恢?。為了進(jìn)一步固定晶圓,，還可以通過內(nèi)置的真空連接口連接到真空泵。
Theta系列晶圓樣品臺連接到自動XYZ樣品臺,，可以自動定位直徑高達(dá)12英寸的晶圓,。為了**限度地提高旋轉(zhuǎn)臺的性能，建議將其與四個(gè)可拋棄滴液頭滴液器結(jié)合使用,。這將允許自動進(jìn)行表面自由能測量,，或者在只使用水的情況下增加連續(xù)的測量次數(shù)。
晶圓接觸角測量儀
| 測量參數(shù) | 表面張力,，界面張力,，接觸角，表面自由能 |
| 相機(jī)分辨率上限(像素) | 2592*2048(5 MP) |
| 拍照速度上限（FPS） | 3422 |
| 旋轉(zhuǎn)移動范圍 | 0-360° |
| **轉(zhuǎn)速 | 180°/s |
| 分辨率 | 0.005° |
| 精度 | ±0.1° |
樣品規(guī)格
| 適合的樣品尺寸 | 2英寸, 3英寸, 4英寸, 5英寸, 6英寸, 8英寸, 12英寸晶圓 |
| **樣品重量 | 500g |
其他
| 真空泵連接 | 是 |
| 接觸角的自動定位 | 是 |
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企業(yè)名稱
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有限責(zé)任公司(外國法人獨(dú)資)信用代碼
9131000060734095X4法人代表
林王珠注冊地址
中國（上海）自由貿(mào)易試驗(yàn)區(qū)巴圣路275號40號樓第一層西部位成立日期
1996-01-11注冊資本
1,000萬(美元)有效期限
1996-01-11 至 2046-01-10經(jīng)營范圍
許可項(xiàng)目：食品銷售；酒類經(jīng)營,；第三類醫(yī)療器械經(jīng)營,；消毒器械銷售；獸藥經(jīng)營,；道路貨物運(yùn)輸（不含危險(xiǎn)貨物）,；生活美容服務(wù)；理發(fā)服務(wù),；燃?xì)馊紵骶甙惭b,、維修,。（依法須經(jīng)批準(zhǔn)的項(xiàng)目，經(jīng)相關(guān)部門批準(zhǔn)后方可開展經(jīng)營活動,，具體經(jīng)營項(xiàng)目以相關(guān)部門批準(zhǔn)文件或許可證件為準(zhǔn)）一般項(xiàng)目：企業(yè)總部管理,；普通貨物倉儲服務(wù)（不含危險(xiǎn)化學(xué)品等需許可審批的項(xiàng)目）；食品銷售（僅銷售預(yù)包裝食品）,；食用農(nóng)產(chǎn)品批發(fā),；食用農(nóng)產(chǎn)品零售；勞動保護(hù)用品銷售,；日用百貨銷售,；化妝品批發(fā)；化妝品零售,；美發(fā)飾品銷售,；個(gè)人衛(wèi)生用品銷售；廚具衛(wèi)具及日用雜品批發(fā),；廚具衛(wèi)具及日用雜品零售；服裝服飾批發(fā),；服裝服飾零售,；服裝輔料銷售；針紡織品及原料銷售,；文具用品批發(fā),；文具用品零售；第一類醫(yī)療器械銷售,；第二類醫(yī)療器械銷售,；化工產(chǎn)品銷售（不含許可類化工產(chǎn)品）；消毒劑銷售（不含危險(xiǎn)化學(xué)品）,；皮革制品銷售,；鐘表銷售；珠寶首飾批發(fā),；珠寶首飾零售,；工藝美術(shù)品及禮儀用品銷售（象牙及其制品除外）；食品添加劑銷售,；金屬材料銷售,；金屬工具銷售；儀器儀表銷售,；音響設(shè)備銷售,；畜牧漁業(yè)飼料銷售；飼料添加劑銷售,；塑料制品銷售,；商業(yè),、飲食、服務(wù)專用設(shè)備銷售,；衛(wèi)生用品和一次性使用醫(yī)療用品銷售,；特種勞動防護(hù)用品銷售；專用化學(xué)產(chǎn)品銷售（不含危險(xiǎn)化學(xué)品）,；日用化學(xué)產(chǎn)品銷售,；辦公用品銷售；家用電器銷售,；飼料原料銷售,；寵物食品及用品批發(fā)；電熱食品加工設(shè)備銷售,；機(jī)械設(shè)備銷售,；五金產(chǎn)品批發(fā)；五金產(chǎn)品零售,；電子測量儀器銷售,；電子產(chǎn)品銷售；電氣設(shè)備銷售,；互聯(lián)網(wǎng)銷售（除銷售需要許可的商品）,；貨物進(jìn)出口；技術(shù)進(jìn)出口,；進(jìn)出口代理,；國內(nèi)貿(mào)易代理；離岸貿(mào)易經(jīng)營,；銷售代理,；貿(mào)易經(jīng)紀(jì)；會議及展覽服務(wù),；包裝服務(wù),；機(jī)械設(shè)備租賃；充電控制設(shè)備租賃,；日用產(chǎn)品修理,；儀器儀表修理；家用電器安裝服務(wù),；專業(yè)保潔,、清洗、消毒服務(wù),；信息咨詢服務(wù)（不含許可類信息咨詢服務(wù)）,；企業(yè)管理；品牌管理,；醫(yī)學(xué)研究和試驗(yàn)發(fā)展（除人體干細(xì)胞,、基因診斷與治療技術(shù)開發(fā)和應(yīng)用）,；健康咨詢服務(wù)（不含診療服務(wù)）；物業(yè)管理,；國內(nèi)貨物運(yùn)輸代理,；技術(shù)服務(wù)、技術(shù)開發(fā),、技術(shù)咨詢,、技術(shù)交流、技術(shù)轉(zhuǎn)讓,、技術(shù)推廣,。（除依法須經(jīng)批準(zhǔn)的項(xiàng)目外，憑營業(yè)執(zhí)照依法自主開展經(jīng)營活動）
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