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長度約6.8米氮氣純化手套箱設備

長度約6.8米氮氣純化手套箱設備
力馬干燥  2021-04-15  |  閱讀:1008

長度約6.8米氮氣純化手套箱設備

l  設備組成:包括不限于手套箱主體,、可拆卸帶手套的可視安全玻璃視窗,、過渡艙、氮氣循環(huán)凈化系統(tǒng),、真空系統(tǒng),、PLC控制顯示操作系統(tǒng)、儲物支架等

2.手套箱主體規(guī)格

l  手套箱主體尺寸規(guī)格:長度約6.8米(實際長度以量測為準),;寬度約1米(實際寬度以手套箱內(nèi)部設備尺寸位置),,高度不能不超過2米;與真空腔室對接的手套箱尺寸長度約1.3米,;

主體材質: 不銹鋼,;

l  安全觀察窗:配合操作,需要搭配多個安全觀察窗,,安全觀察窗材質鋼化玻璃,;

l  安全觀察窗手套接口規(guī)格:數(shù)量以方便操作為主,接口需潤滑性好、易于維護,、密封性能好,;

l  手套材質:丁基橡膠;數(shù)量以實際需求為主,;

l  照明系統(tǒng):為便于工作,,手套箱內(nèi)需有照明系統(tǒng);

l  電源接口:為便于后期使用,,手套箱內(nèi)需預留電源接口,;

l  壓力計:實時監(jiān)控手套箱內(nèi)壓力;

l  儲物架:普通位置至少2層的擱置物品的支架,,材質不銹鋼,;儲物架可拆卸,不需要的手套箱可以拆卸掉,;另外,,在連接G13前端的位置處要有8個可以暫放基板框架的儲存架,儲存架長寬約35cm*35cm,;(細節(jié)需要討論)

l  預留KF40標準接口:每個工位預留不少于3個,;

l  設備顏色:油漆部分不能有脫落、污漬,;

l  不銹鋼支架:帶便于推動的萬向輪,,有調(diào)節(jié)水平的腳座;

l  備件:5雙備用手套,;

l  過渡倉規(guī)格:按照實際需求,,設計大小過渡倉,過渡艙帶壓力表,、進出氣接口等,;過渡艙與手套箱焊接必須密封;

l  對接規(guī)格:(如示意圖)

a.手套箱需要與前端G11設備的loadlock-1進行對接,,此處我方無圖紙,,需要手套箱廠商根據(jù)實物自行設計圖紙并完成對接方案;LL-1處已有手套箱,,手套箱內(nèi)有3臺設備,,舊手套箱拆除后,內(nèi)部3臺設備需要保留,,保留的設備要放入新手套箱內(nèi),,屆時中標的新手套箱廠商要負責3臺設備的移入和對接(如管路、線路,、信號等),;

b.手套箱需要與后端G13設備的loadlock-3進行對接,此處我方有圖紙,需要手套箱廠商根據(jù)實物和圖紙完成對接方案,;另,,LL-3處有傳送基板的滾輪,手套箱廠商需要根據(jù)LL-3的需求,,預留按照滾輪的位置和空間,;

c.手套箱中間部位需要外接真空設備的loadlock-2,手套箱廠商需要配合真空設備的法蘭或閘閥完成對接方案,;

d.手套箱前后對接的G11設備和G13設備已經(jīng)固定,,手套箱廠商需要根據(jù)實際狀況自行設計方案,在不移動設備的前提下完成設備對接,;真空設備目前采購中,,會從示意圖loadlock-2位置進行對接,,手套箱廠商要配合真空設備完成loadlock-2的對接,;

e.手套箱的主要責任區(qū)域為如下圖中的黃色標識區(qū)域。


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