中國(guó)粉體網(wǎng) 10月29日,，湖北政務(wù)服務(wù)網(wǎng)公布湖北菲利華石英玻璃股份有限公司超低膨脹石英玻璃研發(fā)及生產(chǎn)項(xiàng)目備案申報(bào),。
湖北菲利華石英玻璃股份有限公司超低膨脹石英玻璃研發(fā)及生產(chǎn)項(xiàng)目位于湖北省荊州經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)。據(jù)備案信息顯示,，該項(xiàng)目利用現(xiàn)有廠房和設(shè)備,，對(duì)爐膛結(jié)構(gòu)、升降設(shè)備控制系統(tǒng),、尾氣系統(tǒng)等進(jìn)行智能化升級(jí)改造,；新增氣柜、料柜,、蒸發(fā)器,、純化設(shè)備及相關(guān)檢測(cè)裝置，面向極紫外（EUV）光刻機(jī)對(duì)石英玻璃材料的需求進(jìn)行超低膨脹石英玻璃的研制,，建設(shè)1條中試生產(chǎn)線,。
據(jù)中國(guó)粉體網(wǎng)了解,，相較于其他低膨脹石英玻璃,，SiO2-TiO2石英玻璃的熱膨脹系數(shù)更低，在一定溫度范圍內(nèi)甚至可以做到零膨脹或負(fù)膨脹,，因此摻鈦石英玻璃又被稱為超低膨脹石英玻璃,。低膨脹石英玻璃的制備方法主要有化學(xué)氣相沉淀法、間接合成法和溶膠-凝膠法等,，具有極低的熱膨脹系數(shù),，是半導(dǎo)體光刻設(shè)備用光學(xué)元件、天文望遠(yuǎn)鏡反射鏡,、原子鐘腔體等高新技術(shù)領(lǐng)域的關(guān)鍵材料,。
今年3月,，國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局公布了名為“一種低膨脹系數(shù)石英玻璃錠的生產(chǎn)方法及生產(chǎn)裝置”的專利，申請(qǐng)人為湖北菲利華石英玻璃股份有限公司,。
該發(fā)明涉及一種低膨脹系數(shù)石英玻璃錠的生產(chǎn)方法及生產(chǎn)裝置,，屬低膨脹系數(shù)石英玻璃生產(chǎn)技術(shù)領(lǐng)域。該發(fā)明以濃鹽酸為溶劑,、以SiCl4,、TiCl4為溶質(zhì)制備成混合原料溶液；由于潛在的溶劑化作用,，使硅原子與摻雜原子以離子狀態(tài)均勻分散于混合原料溶液內(nèi),。由此解決了現(xiàn)有制備工藝難以精確控制鈦含量，并在生產(chǎn)過程中不能保持其一致性所導(dǎo)致的石英塊中摻雜元素分布上的波動(dòng),，加劇石英材料性能不穩(wěn)定性的問題,。該發(fā)明其摻雜料波動(dòng)范圍可縮小67%；熱膨脹系數(shù)波動(dòng)范圍減小31%,；對(duì)制備低膨脹系數(shù)石英玻璃錠具有積極的意義,。
湖北菲利華石英玻璃股份有限公司是我國(guó)石英玻璃龍頭企業(yè)，公司主要從事高性能石英玻璃,、石英纖維及復(fù)合材料的研發(fā)生產(chǎn),，主要服務(wù)于半導(dǎo)體、光通訊,、光伏太陽(yáng)能,、高端光學(xué)及航空航天等高新技術(shù)領(lǐng)域。據(jù)菲利華2024年半年報(bào)顯示,，公司開發(fā)出的超低膨脹系數(shù)石英玻璃,，實(shí)現(xiàn)了零膨點(diǎn)溫度區(qū)域可控，為原子鐘腔體,、空間探測(cè),、極紫外光刻光學(xué)系統(tǒng)提供了材料支撐。
參考來(lái)源：
[1]張寒等.超低膨脹合成石英玻璃關(guān)鍵制造工藝研究
[2]湖北政務(wù)服務(wù)網(wǎng)
[3]菲利華官網(wǎng)
（中國(guó)粉體網(wǎng)編輯整理/九思）
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