中國粉體網(wǎng)訊  高純石英制品因其獨特的高純度、耐高溫,、低熱膨脹性,、化學(xué)穩(wěn)定性強等優(yōu)良性能,，被廣泛應(yīng)用于電光源、光纖、光伏、半導(dǎo)體,、航空航天、光學(xué)等領(lǐng)域,。其中,，半導(dǎo)體制造是石英制品最主要的下游應(yīng)用領(lǐng)域。高純度石英制品作為治具和消耗品，在日益精細(xì)化和高純度化的半導(dǎo)體加工中起著極為重要的作用,。

作為半導(dǎo)體制造過程中關(guān)鍵設(shè)備中的關(guān)鍵消耗部件,，石英制品被廣泛應(yīng)用于150mm到300mm半導(dǎo)體晶圓制造中的外延、擴散,、沉積,、RTP、濕法清洗等工藝中,。據(jù)《中國半導(dǎo)體用石英材料市場研究分析報告（2024~2027）》介紹,，在半導(dǎo)體集成電路與光伏用硅片制造中，石英坩堝,、石英管,、石英舟、石英支架,、石英法蘭、石英環(huán)等各種配件是難以替代的關(guān)鍵材料和制品,，涉及半導(dǎo)體晶圓制造的大部分流程,，對半導(dǎo)體晶圓廠來講，石英制品參與生產(chǎn)工序長,，影響范圍廣,，且石英制品必須要幾乎完整參與其產(chǎn)品的生產(chǎn)過程才能確定是否通過驗收，石英制品一旦出現(xiàn)質(zhì)量問題,，直接影響其產(chǎn)品的合格率,，故石英制品對于下游企業(yè)至關(guān)重要。

隨著國內(nèi)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)提速發(fā)展,，用于半導(dǎo)體加工用的石英產(chǎn)品市場被越來越多的人們看好和關(guān)注,，石英制造的企業(yè)也增加了很多，但是高品質(zhì)的石英制造商數(shù)量在國內(nèi)屈指可數(shù),，產(chǎn)能主要分布在北京,、沈陽、杭州,、上海和湖州地區(qū),。目前國內(nèi)石英廠商總體技術(shù)水平不高，多數(shù)企業(yè)沒有形成較強的品牌以及技術(shù)優(yōu)勢,，企業(yè)必須努力提高自身的研發(fā)能力和生產(chǎn)技術(shù)水平,，同時積極跟蹤市場變化，調(diào)整企業(yè)生產(chǎn)經(jīng)營策略,，才能夠保證企業(yè)實現(xiàn)持續(xù)良性發(fā)展,。

由日本磁性技術(shù)控股有限公司于1992年在華設(shè)立的企業(yè)——FerroTec（中國），其石英制品服務(wù)于全球5大國際知名半導(dǎo)體設(shè)備制造商，且相關(guān)產(chǎn)品據(jù)其官網(wǎng)宣傳在中國市場的占有率高達(dá)40%,。這樣一家全球石英制品領(lǐng)導(dǎo)者卻長期以來不為大多數(shù)人所了解,。據(jù)悉，該公司專業(yè)從事半導(dǎo)體硅片,、熱電半導(dǎo)體致冷材料與器件,、半導(dǎo)體石英制品、精密陶瓷制品,、半導(dǎo)體真空傳動裝置及大型腔體,、電子束蒸發(fā)鍍膜機、精密洗凈,、覆銅陶瓷基板（DCB,、AMB、DPC）,、半導(dǎo)體裝備,、單晶爐等產(chǎn)品的研發(fā)、制造和銷售,。

據(jù)悉,，F(xiàn)erroTec（中國）在精密石英這一領(lǐng)域擁有精密加工中心、激光切割,、水切割,、LAP/POLISH等各類型先進(jìn)生產(chǎn)設(shè)備，擁有10000級凈空化學(xué)洗凈及100級純水洗凈室,。歷經(jīng)20余年的研發(fā)生產(chǎn),，F(xiàn)errotec可批量生產(chǎn)12"、8"以及8"以下半導(dǎo)體裝置用石英制品,，并具備下一代18"石英產(chǎn)品的研發(fā)能力,。

同時，F(xiàn)erroTec（中國）能夠根據(jù)客戶要求選用合適的原材料進(jìn)行加工生產(chǎn),。主要進(jìn)口材料規(guī)格有：邁圖科技生產(chǎn)的124,、144、214,、224（弱堿性）,、244(低鋁成分)、賀利氏HSQ330,、HSQ300,、TSC-3；日本TOSOH OP-1,、OP-3,；德國QSIL PI,、PN等材料。

FerroTec（中國）高精度的石英制品不僅為300nm半導(dǎo)體芯片制程提供可靠保障,，也能滿足太陽能光伏行業(yè)在擴散制程中對低鐵,、低銅的要求，被廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體擴散刻蝕工藝,、光纖預(yù)制棒加工,、LED照明制造及太陽能光伏等工業(yè)領(lǐng)域。

Ferrotec（中國）精密石英產(chǎn)品分類

Ferrotec（中國）為滿足客戶需求,，可生產(chǎn)多種多樣的石英產(chǎn)品,，依托精密的加工技術(shù)、焊接技術(shù),、表面處理（洗凈）技術(shù)三大核心技術(shù)優(yōu)勢以及具有全球化視野的專業(yè)技術(shù)團(tuán)隊支持,，為客戶量身打造高品質(zhì)產(chǎn)品。

石英管類

主要包括反應(yīng)管,、內(nèi)管,、外管、爐管,、噴射管等產(chǎn)品,；主要應(yīng)用于半導(dǎo)體擴散、氧化,、成膜、熱處理等硅片表面處理工藝設(shè)備,，對裝配尺寸,、潔凈度、密封度有較高的要求,。

石英舟類

分為5寸,、6寸、8寸,、12寸各類規(guī)格舟,，應(yīng)用于各類表面處理工藝設(shè)備、濕法洗凈工藝中,，舟類產(chǎn)品直接裝載硅片,，并大多應(yīng)用于自動上下片工藝中，所以石英舟的尺寸精度和潔凈度非常重要,。

石英機加工類

包括各種環(huán),、圓盤等產(chǎn)品，主要應(yīng)用于半導(dǎo)體硅片刻蝕,、沉積等工藝,，對尺寸精度,、潔凈度、外觀狀態(tài)等方面的要非常高,，部分產(chǎn)品不允許返修,，必須一次成型，所以對加工能力要求高,。

石英治具類

主要有裝載盤,、底座、封蓋等產(chǎn)品,；應(yīng)用于各種半導(dǎo)體處理工藝的輔助設(shè)備中,，其精度視應(yīng)用的工藝而定。

石英洗凈類

包括石英槽,、石英支架等產(chǎn)品,，主要應(yīng)用于半導(dǎo)體濕法洗凈工藝，精度相對不高,，但對外觀,、潔凈度有較高的要求。

資料來源：

[1]FerroTec（中國）官網(wǎng)

[2]中國半導(dǎo)體用石英材料市場研究分析報告（2024~2027）

（中國粉體網(wǎng)編輯整理/平安）

注：圖片非商業(yè)用途,，存在侵權(quán)告知刪除,！