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【原創(chuàng)】陶瓷基板——半導(dǎo)體制冷的關(guān)鍵部件


來源:中國粉體網(wǎng)   山川

[導(dǎo)讀]  熱電制冷不失為半導(dǎo)體芯片散熱的最優(yōu)方式之一,。

中國粉體網(wǎng)訊  現(xiàn)如今,,電子通訊設(shè)備及信息產(chǎn)業(yè)飛速發(fā)展,,電子元器件的輕量化,、小體積,、高功耗和高集成特性成為產(chǎn)品發(fā)展的主要趨勢。對高性能芯片而言,,表面熱流密度約為20~50W/cm2,,局部最高處熱流密度甚至可達(dá)100W/cm2,對于特定用途的半導(dǎo)體芯片甚至高達(dá)1000W/cm2,,這種發(fā)展趨勢必將導(dǎo)致散熱更困難,。設(shè)備大量的熱積聚不但會造成產(chǎn)品性能大幅度降低,產(chǎn)品體驗感差,,更嚴(yán)重時,,甚至?xí)斐稍O(shè)備無法工作、燒毀和爆炸等,,給用戶帶來嚴(yán)重的財產(chǎn)損失和人身安全問題,,解決電子設(shè)備的散熱問題迫在眉睫。近年來,,半導(dǎo)體制冷技術(shù)因為具有獨特的優(yōu)勢引起學(xué)者廣泛關(guān)注,。


不同散熱方式優(yōu)缺點總結(jié)

 


什么是半導(dǎo)體制冷?


半導(dǎo)體制冷即上表中的熱電制冷技術(shù)(TEC),,是一種基于帕爾帖效應(yīng)原理的制冷技術(shù),,即利用當(dāng)電流通過兩種特定材料時會吸收和放出熱量的原理進行制冷。因其主要部件多為熱電能量轉(zhuǎn)換效率高的半導(dǎo)體材料,,所以又被稱為半導(dǎo)體制冷(該名字并非是因為它適用于半導(dǎo)體芯片散熱,,而是因為該技術(shù)需采用半導(dǎo)體材料完成能量轉(zhuǎn)換而散熱)。其具有以下特點:


 

熱電制冷片樣品,,來源:程浩等.電子封裝陶瓷基板


(1)體積小,,質(zhì)量輕。普通單級的TEC厚度僅有3~5mm,,總體積不超過9cm3,,質(zhì)量為20g左右,微型TEC可以做到1W以下的功率,,質(zhì)量和體積甚至更�,。�<50mm3,<1g),;(2)TEC器件較穩(wěn)定,,易于維護,壽命相對較長,,目前運用在航天設(shè)備中特制的TEC壽命可高達(dá)250000h以上,;(3)結(jié)構(gòu)簡單,,TEC由p-n節(jié)、銅連接片,、陶瓷基板及導(dǎo)線構(gòu)成,,無運動部件,所以不會產(chǎn)生噪音,;(4)溫度響應(yīng)快,,僅需改變輸入電流方向便能夠更換冷熱端;(5)無需流動介質(zhì),,不會造成泄露,,環(huán)境友好;(6)能夠準(zhǔn)確調(diào)控冷卻溫度,,而效率幾乎保持不變,,在一些疫苗保存恒溫箱中精度甚至可達(dá)0.01℃等。

 

TEC結(jié)構(gòu)示意圖


半導(dǎo)體制冷技術(shù)的廣泛應(yīng)用


TEC技術(shù)具有如此多優(yōu)點,,在學(xué)界廣受贊譽,。美國能源部前國務(wù)卿Majumdar A博士在《Nature》雜志中曾發(fā)文表示,熱電制冷不失為半導(dǎo)體芯片散熱的最優(yōu)方式之一,。BellLE在《Science》雜志中稱,,熱電制冷技術(shù)必會在現(xiàn)有的散熱方式中占據(jù)重要地位。


目前,,TEC已在各個領(lǐng)域得到了應(yīng)用,。在消費電子領(lǐng)域,用于電子設(shè)備的散熱,、柔性可穿戴電子設(shè)備散熱與發(fā)電,、高清攝像頭溫控、工業(yè)除濕機和半導(dǎo)體芯片加工過程熱管理等,;在汽車領(lǐng)域,,用于電動汽車電池的熱管理,、汽車座艙散熱,、汽車座椅散熱、車載冰箱,、汽車?yán)浔捌噦鞲衅鳠峁芾淼�,;在醫(yī)療器械領(lǐng)域,如生物醫(yī)藥溫控箱,、醫(yī)療設(shè)備熱管理,、聚合酶鏈?zhǔn)椒磻?yīng)儀、恒溫培養(yǎng)箱和醫(yī)療美容減肥儀等,;航天和軍工領(lǐng)域,,用于星載紅外探測器的散熱,、導(dǎo)航和末端制導(dǎo)所用傳感器溫度控制,以提升精度等,;在家電領(lǐng)域,,已被用于熱電空調(diào)和熱電冰箱的設(shè)計;此外,,TEC與光伏發(fā)電結(jié)合應(yīng)用于建筑散熱,、TEC與熱電發(fā)電(TEG)結(jié)合在實際工程中的應(yīng)用和其他領(lǐng)域的應(yīng)用。應(yīng)用領(lǐng)域的逐漸拓寬也必然使TEC技術(shù)煥發(fā)出新的生機,。


陶瓷基板——半導(dǎo)體制冷的關(guān)鍵部件


上面我們提到了一個半導(dǎo)體制冷技術(shù)的關(guān)鍵部件:陶瓷基板,。半導(dǎo)體制冷器的導(dǎo)熱絕緣層由陶瓷基板構(gòu)成,陶瓷基板材料及厚度對半導(dǎo)體制冷器制冷效率有顯著的影響,。


基板材料方面,,目前常用的封裝基板材料主要包括氧化鋁陶瓷、氮化鋁陶瓷等,,其中氧化鋁陶瓷因性價比較高應(yīng)用最為廣泛,。氮化鋁陶瓷基板由于其具有以下優(yōu)點,被廣泛地用于微型制冷片的制備中:(a)熱導(dǎo)率高:氮化鋁陶瓷具有較高的熱導(dǎo)率,,可以更有效地散熱,,從而提高微型制冷片的制冷效率。(b)熱膨脹系數(shù)低:氮化鋁陶瓷的熱膨脹系數(shù)比氧化鋁低,,因此更適合與制冷芯片進行配合,,可以有效減小由于熱膨脹系數(shù)不匹配導(dǎo)致的熱應(yīng)力和熱裂紋的問題。(c)化學(xué)穩(wěn)定性好:氮化鋁陶瓷具有良好的化學(xué)穩(wěn)定性,,可以耐受多種酸,、堿和有機溶劑等化學(xué)介質(zhì)的腐蝕,從而延長微型制冷片的使用壽命,。


 

DPC陶瓷基板


封裝方式方面,,由于熱電制冷效率與半導(dǎo)體粒子數(shù)量呈正相關(guān),單位面積粒子數(shù)量越多,,熱電制冷效率越高,。DPC陶瓷基板圖形精度高,可提高粒子布置密度,,從而有效提高熱電制冷效率,。


參考來源:

[1]程浩等.電子封裝陶瓷基板

[2]高俊.半導(dǎo)體制冷器工藝設(shè)計對制冷性能的影響

[3]馬自鈺.熱電制冷器性能分析與改進方法研究

[4]氮化鋁陶瓷基板用于精密半導(dǎo)體制冷片封裝的優(yōu)勢.富力天晟


(中國粉體網(wǎng)編輯整理/山川)

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