中國粉體網訊 近日,，據(jù)《日經新聞》報道,，全球第三大陶瓷衛(wèi)浴產品制造商——日本TOTO通過利用其在陶瓷材料領域的專業(yè)知識,，已經在半導體制造所需的“靜電卡盤”（ESC）市場取得了成功。
結構部件的組裝工序（TOTO精細陶瓷中津工廠）
根據(jù)TOTO公布的2024財年前三季（2024年4月-12月）財報顯示,，前三季TOTO的包括半導體業(yè)務在內的“新領域”業(yè)務營收達到了344億日元（約合2.25億美元或16.36億元人民幣）,，同比增長31.8%，營業(yè)利潤達142億日元（約合0.93億美元或6.75億元人民幣）,，同比暴漲84.4%,。
TOTO的“新領域”業(yè)務主要包括：陶瓷業(yè)務和環(huán)境建材業(yè)務。陶瓷業(yè)務主要是指以陶瓷組件為基礎,，如陶瓷半導體,、光通訊設備等。而環(huán)境建材業(yè)務主要是生產一些陶板,、鏡片等,。其中，以靜電卡盤為代表的與半導體相關的陶瓷業(yè)務近年來成為了“新領域”業(yè)務的主要營收及利潤貢獻來源,。
TOTO預計,，其半導體業(yè)務今年的營業(yè)利潤將超過1億美元。
靜電吸盤：半導體制造中的核心競爭力
靜電卡盤是利用靜電吸附原理夾持固定被吸附物的夾具,，其通常包含一個或多個導電電極,，在外部高壓電場的作用下，內部會形成電介質電場,，在被夾持物體的表面與電介質電場相對應的表面聚集極性相反的極化電荷,，從而實現(xiàn)對晶片的吸附。其適用于真空及等離子體環(huán)境,，能夠使吸附物保持較好的平坦度,，可以抑制吸附物在工藝中的變形，還能夠調節(jié)吸附物的溫度,。
從靜電卡盤襯底材料來看,，主流使用陶瓷材料，通常靜電卡盤表面材料分為氧化鋁陶瓷與氮化鋁陶瓷兩種,，其中氧化鋁陶瓷由于其工藝較為簡單,，因此在目前的靜電卡盤市場中應用最為廣泛。但隨著半導體工藝對靜電卡盤散熱性能的要求不斷提高,，導熱性能更好的氮化鋁陶瓷優(yōu)勢逐漸顯現(xiàn),。相較于主流的氧化鋁陶瓷，氮化鋁陶瓷擁有更好的導熱性能,、熱膨脹系數(shù),、機械性能、絕緣性，因此更適合作為半導體工藝的靜電卡盤材料,。
現(xiàn)代半導體制造流程中包含晶圓的光刻,、清洗、氧化,、刻蝕,、薄膜沉積等眾多的環(huán)節(jié)，每個環(huán)節(jié)中又涉及到多種工序,，這其中離子摻雜,、離子注入、物理氣相沉積（PVD）,、化學氣相沉積（CVD）等工序均需要保證晶圓的平穩(wěn)固定并確保最低程度的污染,，因此大都需要靜電卡盤來進行固定。受益于晶圓廠的大規(guī)模投建,，半導體設備銷售量不斷攀升,，靜電卡盤作為半導體的核心設備之一，也在快速增長,。
從馬桶巨頭跨界半導體,，TOTO底氣在哪？
TOTO作為以馬桶和衛(wèi)浴設備著稱的企業(yè),，真正的優(yōu)勢在于其深厚的陶瓷材料專業(yè)知識,。根據(jù)日經的最新報道，TOTO在半導體領域的關系可以追溯到1980年代,，當時該公司就開始為半導體產業(yè)開發(fā)高性能的精密陶瓷,。
在技術方面，TOTO運用長年制造衛(wèi)生陶瓷所需的成型與燒成技術,，可以制造出抗裂的均質材料,，采用高純度陶瓷材料制備，具有優(yōu)異的耐熱性,、耐腐蝕性和絕緣性能,。這種材料不僅能夠承受等離子體刻蝕機2000℃的高溫和化學腐蝕，還能保持納米級的平整度,。此外,，TOTO的靜電吸盤平整度誤差控制在1微米以內,，相當于頭發(fā)絲的1/80,，這使得其產品在半導體制造中具有顯著的競爭力。
靜電卡盤,，來源：TOTO
目前,，TOTO正強化半導體制造設備用核心部件的新興陶瓷業(yè)務。2020年，該公司斥資118億日圓（約7200萬美元）在日本大分興建陶瓷生產設施,。在2020年4月到2024年4月期間,，該公司的陶瓷生產員工增加了約20%。根據(jù)TOTO總裁Noriaki Kiyota去年10月電話會議的說法,，正在考慮新工廠的計劃,。
作為繼日本和海外住宅設備業(yè)務后的“第三支柱”，陶瓷業(yè)務的主力產品為靜電卡盤,，其在2023年度的銷售額中占比約七成,；氣溶膠沉積部件占三成，結構部件約占一成,。
在2024財年,，TOTO預計其與半導體相關的陶瓷部門的營業(yè)利潤將達到200億日元（約1.3億美元），營業(yè)利潤率接近40%,，遠高于公司整體7%營業(yè)利潤的預期,。TOTO目標是在2026財年該部門的營業(yè)利潤達到250億日元，并擴大產品組合以幫助穩(wěn)定該業(yè)務,。
來源：日經新聞,、TOTO官網、Creative官網,、日經亞洲,、technews
（中國粉體網編輯整理/空青）
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