推薦新型SiC拋光技術,，效率飆升10倍,！

中國粉體網訊 隨著半導體技術的飛速發(fā)展,，碳化硅（SiC）作為一種卓越的高性能材料,，正日益成為科研界關注的焦點,。然而,，其卓越的硬度和化學穩(wěn)定性特性,，在為材料帶來優(yōu)勢的同時,，也給拋光工藝設置了重重難關,。特別是在晶圓的精密制造環(huán)節(jié)[更多]