中國粉體網訊 隨著新能源汽車,、軌道交通、消費電子等行業(yè)的快速發(fā)展,,市場對于高端芯片和功率器件的性能和需求越來越高,。硅、碳化硅等半導體晶圓襯底是典型的硬脆難加工材料,,加工后其晶片表面質量和表面精度決定著半導體器件的性能,,晶圓表[更多]
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