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PicoFemto掃描電鏡SEM納米力測(cè)量系統(tǒng)品牌
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PicoFemto NI-100 SEM納米力測(cè)量將納米壓痕儀集成進(jìn)掃描電鏡中,，使用戶可以在掃描電鏡中進(jìn)行原位納米壓痕研究,。該系統(tǒng)由一個(gè)三維壓電驅(qū)動(dòng)的樣品臺(tái)和一個(gè)納米力測(cè)量探針組成。樣品安裝方式靈活多樣,，可在三維納米位移臺(tái)的驅(qū)動(dòng)下,，達(dá)到超過(guò)5 mm的準(zhǔn)確定位，定位分辨率優(yōu)于100 nm,，以使待測(cè)量區(qū)域準(zhǔn)確對(duì)準(zhǔn)力探針,。
力探針同樣由壓電驅(qū)動(dòng)，在軸向達(dá)到100 um的伸縮長(zhǎng)度,，位移分辨率優(yōu)于0.25mm,。由力傳感器準(zhǔn)確測(cè)量所施加的力的載荷，可測(cè)拉力和壓力,。并有不同的大量程的力傳感器可選配,，達(dá)到很好的測(cè)量效果。通過(guò)搭配電學(xué),、光學(xué),、加熱等模塊，該產(chǎn)品還可以實(shí)現(xiàn)包括原位力/熱耦合,、力/光耦合,、力/電耦合、力/熱/晶體取向耦合等多場(chǎng)耦合研究,。
PicoFemto NI-100 SEM納米力測(cè)量系統(tǒng)基本技術(shù)參數(shù)表
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國(guó)產(chǎn)電子束光刻機(jī)實(shí)現(xiàn)自主可控,，是實(shí)現(xiàn)我國(guó)集成電路產(chǎn)業(yè)鏈自主可控的重要一環(huán),。近日，澤攸科技聯(lián)合松山湖材料實(shí)驗(yàn)室開展的全自主電子束光刻機(jī)整機(jī)的開發(fā)與產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目取得重大進(jìn)展,，成功研制出電子束光刻系統(tǒng),，實(shí)現(xiàn)了
在科技創(chuàng)新的浪潮中，澤攸科技以其研發(fā)實(shí)力和創(chuàng)新精神,，不斷推動(dòng)著儀器行業(yè)的發(fā)展,。6月12日，我們迎來(lái)了一個(gè)具有里程碑意義的時(shí)刻——澤攸科技銅陵公司正式喬遷至東市電子創(chuàng)業(yè)園,，這不僅是公司發(fā)展歷程中的一個(gè)新
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