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等離子體修飾系統(tǒng)品牌
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等離子體修飾系統(tǒng)，利用三溫區(qū)管式爐,，通過氧氣輔助化學(xué)氣相沉積技術(shù),，在藍寶石襯底上外延生長了大尺寸、高質(zhì)量的單層二硫化鉬薄膜,。在生長過程中引入氧氣,，不僅能夠阻止三氧化鉬源中毒,，降低形核密度，而且還能減小硫空位密度,，從而實現(xiàn)了大尺寸單晶單層二硫化鉬的生長,。
利用等離子體修飾系統(tǒng)，在自限生長的前提下,，目前已實現(xiàn)了兩英寸晶圓級高質(zhì)量單層二硫化鉬的外延生長（100%覆蓋度,，成膜均勻），并通過改進轉(zhuǎn)移設(shè)備,，實現(xiàn)了晶圓級薄膜的零污染且襯底無損轉(zhuǎn)移,。單層二硫化鉬薄膜均勻覆蓋在整個藍寶石襯底上，而且沒有縫隙,，沒有重疊層,。 薄膜由晶粒尺寸為 1 微米，相對取向為 60 o的晶粒拼接而成,。成型薄膜只包含 60 o晶界,。
等離子體修飾系統(tǒng)產(chǎn)品優(yōu)勢
1、避免固態(tài)源中毒,；
2,、成膜均勻性好；
3,、成膜面積大,；
4、快速,、生長速度可控,。
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