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【設備特點】

□ 全自動工藝循環(huán),，減少操作輸入,；

□ 極好的晶片與支撐板之間的平行度；

□ 粘結參數(shù)的接觸式按鈕,；

□ 無氣泡粘結,；

□ 單片或多片；

【設備參數(shù)】

【技術應用】

適用材料  主要用于在處理薄的和易碎的半導體晶片,，如氮化鎵,、氧化鎵、金剛石,、多晶碳化硅的粘結,。

應用領域   可應用于半導體材料、紅外材料,、光電材料等應用領域的粘片工藝,。

【設備說明】

○ 可通過觸摸屏交互界面設置所需的粘接溫度和真空要求等工藝參數(shù)，存儲多達100條工藝菜單,；

○ 自動化程度高,，整機操作便捷，運行穩(wěn)定,，維護方便,，可靠性強；

○ 顯示界面實時監(jiān)測溫度,、壓力及真空度變化,，可以數(shù)值和電子計量表形式顯示；

○ 設置既定程序自動控制完成粘片,，并在屏幕上顯示結果,；

○ 減少昂貴材料在制備過程中的破損，提高粘結工藝的穩(wěn)定性,；

【系列型號】