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【設(shè)備特點(diǎn)】

□ 全自動(dòng)工藝循環(huán)，減少操作輸入,；

□ 極好的晶片與支撐板之間的平行度,；

□ 粘結(jié)參數(shù)的接觸式按鈕；

□ 無(wú)氣泡粘結(jié),；

□ 單片或多片,；

【設(shè)備參數(shù)】

【技術(shù)應(yīng)用】

適用材料  主要用于在處理薄的和易碎的半導(dǎo)體晶片，如氮化鎵,、氧化鎵,、金剛石、多晶碳化硅的粘結(jié),。

應(yīng)用領(lǐng)域   可應(yīng)用于半導(dǎo)體材料,、紅外材料,、光電材料等應(yīng)用領(lǐng)域的粘片工藝。

【設(shè)備說(shuō)明】

○ 可通過(guò)觸摸屏交互界面設(shè)置所需的粘接溫度和真空要求等工藝參數(shù),，存儲(chǔ)多達(dá)100條工藝菜單,；

○ 自動(dòng)化程度高，整機(jī)操作便捷,，運(yùn)行穩(wěn)定,，維護(hù)方便，可靠性強(qiáng),；

○ 顯示界面實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)溫度、壓力及真空度變化,，可以數(shù)值和電子計(jì)量表形式顯示,；

○ 設(shè)置既定程序自動(dòng)控制完成粘片，并在屏幕上顯示結(jié)果,；

○ 減少昂貴材料在制備過(guò)程中的破損,，提高粘結(jié)工藝的穩(wěn)定性；

【系列型號(hào)】