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AFM-in-Phenom XL品牌
飛納產(chǎn)地
荷蘭樣本
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全新發(fā)布的 AFM-in-Phenom XL 結(jié)合了掃描電子顯微鏡 (SEM) 和原子力顯微鏡 (AFM) 的優(yōu)勢，實現(xiàn)了在同一系統(tǒng)中對樣品進行多模態(tài)（SEM 及 AFM 形貌,、元素,、機械、電學(xué),、磁學(xué)）關(guān)聯(lián)分析,。
· 設(shè)備掃描范圍（開環(huán)）：100μm×100μm×20μm
· 設(shè)備掃描范圍（閉環(huán)）：80μm×80μm×16μm
· 分辨率：0.2nm×0.2nm×0.04nm
· **樣品尺寸：21mm×11mm×8mm
· **樣品重量：100g
· 成像模式：表面形貌和粗糙度、CAFM,、KPFM,、FMM、PFM,、EFM,、F-z curves、I-V curves等
全新發(fā)布的 AFM-in-Phenom XL 結(jié)合了掃描電子顯微鏡 (SEM) 和原子力顯微鏡 (AFM) 的優(yōu)勢,，實現(xiàn)了在同一系統(tǒng)中對樣品進行多模態(tài)（SEM 及 AFM 形貌,、元素、機械,、電學(xué),、磁學(xué)）關(guān)聯(lián)分析。
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2020-12-21
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2020-12-21
2020-12-21
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半導(dǎo)體是現(xiàn)代電子產(chǎn)品的基礎(chǔ),，支撐著從計算到數(shù)據(jù)存儲的一切功能。隨著器件尺寸縮小且結(jié)構(gòu)日益復(fù)雜,，精準的失效分析變得至關(guān)重要,。AFM-in-SEM 失效分析：該技術(shù)直接集成于 FIB / SEM（聚焦離子
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