參考價格
面議型號
BTF-1400C-OP-4ZL-CVD品牌
貝意克產(chǎn)地
安徽合肥樣本
暫無非金屬電熱元件：
碳化硅金屬電熱元件：
其他燒結(jié)氣氛：
其他溫控精度：
±1℃最高溫度：
1400℃額定溫度：
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一、產(chǎn)品特色
這是一款定制可開啟式CVD設備,。該設備主要開啟式加熱爐,、氣路系統(tǒng)、反應管,、智能控制系統(tǒng),。
1、開啟式加熱爐：
加熱爐膛采用超輕氧化鋁纖維材料，配S型熱電偶,，單點控溫,；設備升降溫控制靈活、加熱爐可開啟方便客戶更換維修反應管
2,、氣路系統(tǒng)可精確控制3路氣體按不同流量進行混合配比,，另外單獨1路可通強腐蝕氣體，配備吹掃氣路,。
氣路管路及閥門,，精工件都采用316L材質(zhì)。
3,、反應管組件
反應管組件使用耐高溫剛玉管,，內(nèi)加剛玉管堵，兩端密封法蘭帶水冷卻系統(tǒng),，反應管尾部帶反應物收集冷卻裝置,。實驗眾產(chǎn)生的尾氣經(jīng)過冷卻收集后再通過球閥排出。
4,、氣體報警系統(tǒng)
配備有氫氣報警器,，氯氣報警器、甲烷報警器,。分別設置1個檢測點,，報警后自動切斷氫氣、氯氣和甲烷的供應,，并發(fā)出警報,。
5、 智能控制系統(tǒng)
采用智能PID模糊控制,，30段可編程控制,。具有超溫和斷偶報警功能。
二,、技術參數(shù)
**溫度 | 1400℃ |
持續(xù)工作溫度 | ≤1300℃ |
升溫速率 | ≤10℃/min |
控溫精度 | ±1℃ |
加熱元件 | 硅碳棒 |
熱電偶 | S型 |
控溫方式 | 模糊PID控制和自整定調(diào)節(jié),，人工智能化30段可編程控制，具有超溫和斷偶報警功能,。 |
加熱總功率 | ≤9KW |
加熱區(qū)尺寸 | 300*130*160mm |
真空度 | ≤5pa |
設備尺寸 | 2100*600*1350mm |
設備重量 | 約350KG |
暫無數(shù)據(jù),！
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