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一、設(shè)備組成

此款定制智能型連續(xù)進出料CVD設(shè)備包含主要由七大部分,，進料腔,，大口徑管式爐、出料腔,、推拉機構(gòu),、供氣系統(tǒng)、真空系統(tǒng),、以及自動化控制軟件組成,。

1、進料腔：

進料腔密封腔體采用石英管,，兩端采用橫向法蘭密封,；進料腔左側(cè)法蘭上配有一個φ16mm的推料桿，可以實現(xiàn)真空或惰性氣體保護下推送載具進入高溫爐內(nèi),；進料腔右側(cè)法蘭通過氣動插板閥與高溫爐鏈接和隔斷,，可以實現(xiàn)進料腔和高溫管式爐相互獨立工作，互不干擾,。

2,、高溫生長爐：

大口徑管式爐采用優(yōu)質(zhì)電阻絲加熱，**使用溫度可達1100℃,，加熱區(qū)長度為300+300+300mm,，采用3段控溫且每段上下兩點控溫的方式,，可有效提高溫差均勻性；同時系統(tǒng)設(shè)置了超溫,、欠溫,、斷偶報警保護功能，大大降低了對操作人員經(jīng)驗的要求,。

3,、出料腔：

出料腔密封腔體采用石英管，兩端采用橫向法蘭密封,，出料腔右側(cè)法蘭上配有一個φ16mm的拉料桿,，可以實現(xiàn)真空或惰性氣體保護下從高溫爐內(nèi)將載具拉入出料腔內(nèi)降溫冷卻；出料腔左側(cè)法蘭通過氣動插板閥與高溫爐鏈接和隔斷,，可以實現(xiàn)出料腔和高溫管式爐相互獨立工作,，互不干擾。

4,、推拉機構(gòu)：

進料腔左側(cè)密封法蘭上配有推料桿及軌道,；出料腔右側(cè)密封法蘭上配有拉料桿及軌道；可以實現(xiàn)真空或惰性氣體保護下將載具推送進高溫爐或?qū)⑤d具拉離高溫爐,。

5,、供氣系統(tǒng)：

供氣系統(tǒng)包含3部分，進料腔配備1路質(zhì)量流量計惰性氣體供氣裝置,，高溫生長爐配備1路質(zhì)量流量計惰性氣體混氣裝置,，出料腔配備1路質(zhì)量流量計惰性氣體供氣裝置；共計5路質(zhì)量流量計,。

6,、真空系統(tǒng)：

進料腔配備1套機械泵（機械泵抽速16m³/h、型號DRV-16）,，高溫生長爐1套機械泵（機械泵抽速24m³/h,、型號DRV-24），出料腔配備1套機械泵（機械泵抽速16m³/h,、型號DRV-16）,，以及真空計、手動擋板閥,、波紋管等連接件共計3套,。

7、觸摸屏控制系統(tǒng)：

采用觸摸屏自動控制,，參數(shù)設(shè)置和操作直觀方便,，參數(shù)自動記錄保持，一鍵操作,。

二,、技術(shù)參數(shù)