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真空等離子清洗設備采用一體化結構,，配備RF離子清洗系統(tǒng),，全自動化控制，操作方便，維護方便,。通過RF高頻發(fā)生器,，可產生高密度等離子體，對工件表面進行活化,、刻蝕,、灰化，有效去除產品表面灰塵及油脂,，釋放表面應力,，使工件表面獲得各種改性適用于橡膠、玻璃,、陶瓷,、金屬等材質產品，應用于微電子,、LCD,、LED、LCM,、PCB電路板,、半導體封裝，以及醫(yī)療器械,、生命科學試驗等領域,。
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